Occasion TEL / TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW #9192013 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW est un équipement de procédé de gravure/cendres conçu pour des performances de haut débit dans une grande variété d'étapes de processus. Il a une grande surface active de 855 millimètres carrés et est capable de manipuler divers substrats dont le silicium, le silicium fondu et le verre. Le système dispose d'une chambre de processus intégrée et est alimenté par un générateur RF contrôlé en fréquence jusqu'à 2000 watts de puissance. L'unité dispose également d'un logiciel de contrôle de processus de précision qui permet des conditions de processus entièrement programmables incluant la vitesse de gravure, le contrôle de profil, le contrôle de température et plus encore. TEL U2E-855SS-SW est une machine entièrement automatisée avec un verrouillage de charge à faible volume. Il dispose également d'un outil de sécurité robuste qui garantit que toutes les mesures de sécurité sont prises dans toutes les conditions de processus. L'actif est nominalement capable de jusqu'à 200 plaquettes par heure et dispose d'une rondelle de montage de 8x10 "qui permet un chargement rapide de nombreuses tailles de substrat différentes. Pour assurer la stabilité de la température du substrat, le modèle dispose d'un module de micropompe intégré qui peut garantir des résultats plus cohérents. Le logiciel robuste dispose également d'un gestionnaire de séquence avancé qui simplifie la création de recettes et le paramétrage du processus. En outre, l'équipement dispose d'un contrôleur intégré pour la collecte de données, les recettes et les protocoles qui contrôlent l'ensemble du système du début à la fin. Enfin, l'unité dispose de diagnostics à distance et de maintenance, permettant un dépannage rapide et facile. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW est une impressionnante machine de gravure/cendres qui offre un contrôle de haute performance et de précision. Il est conçu pour une grande variété d'étapes de processus et est un excellent choix pour les fabricants à la recherche d'une solution de gravure/ashing efficace et fiable.