Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM #9162835 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM est un graveur à usage général utilisé pour les applications de gravure à sec de toutes les variétés. Il dispose d'un système unique de chauffage à résistance directe (DRH) qui permet un fonctionnement haute tension à basse tension avec un contrôle précis du processus. Cet etcher a une large gamme de processus, avec une plage de profondeur de dépôt de 25nm-6um et des profondeurs de gravure de 10-200um. Il est capable à la fois des techniques de gravure ionique réactive (RIE) et de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). TEL Unity 2 DRM dispose de fonctionnalités d'automatisation intégrées qui permettent un contrôle précis du processus. Il s'agit notamment d'un système piloté par ordinateur pour la préparation et la manipulation des plaquettes, ainsi que d'un générateur RF automatisé qui fournit précisément la bonne puissance et tension en fonction des paramètres du processus. Son auto-étalonnage intégré permet d'assurer une répétabilité cohérente des processus. Ces fonctionnalités peuvent non seulement gagner du temps, mais aussi réduire considérablement le risque d'erreur humaine dans le contrôle du processus. L'etcher dispose également d'une chambre de process modulaire intégrée qui supporte jusqu'à quatre gaz de process, avec un couvercle d'entraînement en platine et électrique et jusqu'à quatre cassettes d'anode. La chambre dispose également d'une source d'énergie ionique contrôlée (CIE) brevetée qui aide à maintenir des conditions de basse pression dans la chambre de procédé et à assurer la précision et la répétabilité de la gravure. L'etcher est très fiable et efficace, et est capable de fournir les gravures les plus complexes avec une répétabilité et un rendement élevés. Il bénéficie d'une bonne stabilité thermique, d'une faible contamination croisée, et sa conception ergonomique le rend facile à utiliser. Bref, TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM est un graveur très polyvalent, complet et fiable qui convient à une large gamme d'applications de gravure à sec. Il dispose de fonctionnalités automatisées pour assurer la précision et la répétabilité, et sa chambre de processus à deux niveaux offre flexibilité et fiabilité. C'est l'outil idéal pour tout travail de gravure sèche, que ce soit la gravure de précision de motifs complexes ou la gravure d'application standard.