Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293775058 à vendre en France

ID: 293775058
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 8" YASKAWA Robot Process: Oxide CIM: GEM Handler Chiller (2) LPT (4) Dry pumps AC and RF Rack 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD est un équipement de graveur/asher très avancé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système allie technologie de pointe et ingénierie de précision pour offrir des performances et une fiabilité supérieures. TEL UNITY 2E 85 DD est conçu pour répondre aux exigences exigeantes des procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs, offrant une grande stabilité des procédés, une flexibilité des procédés et une excellente répétabilité des procédés. Caractéristiques clés : TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD dispose d'une source unique à double fréquence couplée au plasma (CCP), qui permet un contrôle précis de la densité du plasma et de la distribution d'énergie ionique. Il en résulte une gravure et une cendre très uniformes sur toute la surface du substrat, assurant des rendements de processus élevés et des performances de l'appareil. L'unité est équipée de capacités avancées de détection d'endpoint, permettant une surveillance en temps réel du processus de gravure/ashing. Cela garantit un contrôle précis des paramètres du processus et minimise la surgravure, conduisant à une plus grande efficacité du processus et à une réduction des déchets matériels. UNITY 2E 85 DD est capable de manipuler une large gamme de substrats, y compris du silicium, des semi-conducteurs composés et des substrats en verre. La machine offre des options pour résister aux processus de décapage et de descum, ce qui la rend adaptée à une variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. La conception avancée de la chambre de traitement de l'outil et son atout pour la livraison de gaz garantissent une excellente répétabilité et uniformité des processus. La chambre est conçue pour minimiser la contamination des particules et assurer un environnement de traitement propre, conduisant à des rendements de dispositif élevés et à une fiabilité améliorée. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD dispose d'une interface conviviale et d'un modèle de contrôle logiciel, permettant un fonctionnement facile et la surveillance des processus. L'équipement est équipé de capacités d'automatisation avancées, permettant un traitement à haut débit et une intervention réduite de l'opérateur. Applications : TEL UNITY 2E 85 DD est idéal pour une large gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs, y compris la gravure et le cendrage de films minces, le transfert de motifs, la résistance au dénudage et les procédés de descente. Le système est couramment utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs avancés tels que des dispositifs logiques, des dispositifs de mémoire, des dispositifs MEMS et des dispositifs de puissance. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD est une unité de graveur/asher de pointe offrant des performances, une fiabilité et un contrôle de processus inégalés. Avec ses fonctionnalités avancées, son large éventail d'applications et sa conception conviviale, UNITY 2E 85 DD est un atout précieux pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir une fabrication d'appareils de haute qualité et à maximiser l'efficacité de production.
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