Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293775061 à vendre en France
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ID: 293775061
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 8"
YASKAWA Robot
Process: Oxide
CIM: GEM
Handler
Chiller
(2) LPT
(4) Dry pumps
AC and RF Rack
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD est un équipement avancé de graveur/asher qui est conçu pour fournir des capacités de traitement de haute précision pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Ce système fait partie de la série d'équipements de gravure TEL Unity, qui sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs pour les procédés de gravure. TEL UNITY 2E 85 DD est équipé d'une technologie de pointe et de fonctionnalités qui en font un outil polyvalent et fiable pour l'enlèvement précis des matériaux et le traitement du plasma. Cette unité est spécialement conçue pour les procédés de gravure profonde du silicium, où les structures à haut rapport d'aspect doivent être gravées avec une grande sélectivité et uniformité. Une des caractéristiques clés de TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD est sa configuration à double source, qui permet une gravure simultanée avec deux gaz différents. Cela permet à la machine d'obtenir une plus large gamme de capacités de processus et d'optimiser les performances de gravure pour divers matériaux et exigences de processus. L'outil dispose également d'un générateur RF de grande puissance, qui assure une production de plasma efficace et un traitement uniforme sur l'ensemble de la plaquette. UNITY 2E 85 DD est équipé d'une chambre de verrouillage de charge pour le chargement et le déchargement rapides des plaquettes, qui minimise les temps d'arrêt du processus et améliore la productivité globale. L'actif dispose également d'un modèle avancé de manutention de plaquettes avec technologie de bras robot, qui assure un positionnement et une manipulation précis des plaquettes pendant le traitement. En termes de capacités de gravure, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD offre une gamme de gaz de procédés et de recettes pour répondre à différents types de matériaux et exigences de procédés. L'équipement est capable de manipuler une variété de produits chimiques de gravure, y compris les produits chimiques à base de fluor, de chlore et d'oxygène, afin d'obtenir une grande sélectivité et des taux de gravure élevés pour divers matériaux. TEL UNITY 2E 85 DD est également équipé de fonctions avancées de contrôle des processus, telles que la technologie de détection d'endpoint et les capacités de surveillance en temps réel. Ces caractéristiques permettent au système d'obtenir un contrôle précis des processus, d'améliorer l'uniformité des gravures et d'assurer la cohérence des résultats de traitement d'une plaquette à l'autre. En outre, TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD est conçu avec une interface conviviale et une unité intuitive de contrôle logiciel, qui permet un fonctionnement et une maintenance faciles de la machine. L'outil comprend également des dispositifs de sécurité avancés et des systèmes de réduction des gaz pour assurer un fonctionnement sûr et respectueux de l'environnement. Dans l'ensemble, UNITY 2E 85 DD est un atout de haute performance qui offre des capacités de traitement avancées, des performances fiables et une polyvalence pour une large gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec son design innovant et ses caractéristiques de pointe, ce modèle est bien adapté aux processus de gravure exigeants dans l'industrie des semi-conducteurs.
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