Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #9178057 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD est un graveur avancé pour les couches diélectriques, y compris la gravure des couches de nitrure de silicium, de dioxyde de silicium et d'arrêt de gravure. TEL UNITY 2E 85 DD peut être utilisé pour graver le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, le silicium amorphe et les oxydes de nitrure. Cet etcher avancé offre également la capacité de créer des caractéristiques et des motifs avancés sur une grande variété de matériaux. La conception efficace et fiable de TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD garantit une uniformité et une précision de gravure optimales. L'utilisation d'une chimie très réactive à basse température à base d'argon et de chlore permet un excellent contrôle des taux de gravure et de l'anisotropie des gravures. Grâce à la technologie avancée de positionnement de substrat de contrôle (ACSP), UNITY 2E 85 DD offre une large gamme de tailles et de formes de substrat à graver avec précision et précision. De plus, la grande fenêtre de processus de TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD permet de minimiser le temps d'équilibrage et d'assurer des résultats ciblés. TEL UNITY 2E 85 DD est spécialement conçu pour la production d'images de champ interconnectées (IFF) de la plus haute qualité dans les applications de traitement de semi-conducteurs. Les IFF offrent l'avantage supplémentaire de modeler avec précision les caractéristiques étroites, ce qui leur permet d'être concentrés avec une résolution extrême. Ceci est possible grâce aux capacités de gravure supérieures de TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD, car il offre une excellente sélectivité des taux de gravure entre différents matériaux, un débit de gravure rapide et des résultats de gravure très uniformes. UNITY 2E 85 DD offre également une gravure supérieure à travers les vias de silicium (TSV), idéale pour la gravure de caractéristiques étroites avec une densité extrêmement élevée. Le chargement minimisé offre une grande flexibilité dans le positionnement des couches topographiques. De plus, la grande homogénéité du procédé de gravure assure une gravure précise de ces traits étroits avec une profondeur uniforme. Pour aider les utilisateurs à répondre à leurs besoins de maintenance et de dépannage, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD est disponible avec des diagnostics embarqués et des capacités d'enregistrement de données. Il dispose d'un contrôle complet en boucle fermée pour optimiser les résultats des processus et l'assurance de la qualité. Enfin, un large éventail d'options et de fonctionnalités intelligentes permet une optimisation et une personnalisation des processus plus spécifiques à l'utilisateur, ce qui améliore la durée du cycle de processus. En résumé, TEL UNITY 2E 85 DD etcher offre des capacités de gravure supérieures pour les couches diélectriques, un contrôle de focalisation serré, une grande fenêtre de processus, un débit de gravure rapide, un chargement amélioré des fonctionnalités, des diagnostics embarqués et des capacités d'enregistrement de données, ainsi qu'un large éventail d'options et de fonctionnalités intelligentes pour l'optimisation et la personnalisation des processus.
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