Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM #9293825 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM est un graveur ou asher qui utilise un dépôt chimique en phase vapeur sélectif (SCVD) et est capable de graver des structures à haut rapport d'aspect sur des plaquettes contenant du silicium. Ce graveur/asher utilise du plasma pour graver les plaquettes et peut graver des caractéristiques avec des rapports d'aspect aussi élevés que 5:1. L'graveur est capable de graver à travers une large gamme de substrats de plaquettes, dont le silicium, le poly silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, le cuivre, etc. En plus de la gravure SCVD, TEL UNITY 2E 85 SCCM a également des processus de gravure supplémentaires, y compris la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure ionique. Cet etcher utilise des implantateurs ioniques à haut rapport d'aspect pour graver des structures à haut rapport d'aspect au sein de couches semi-conductrices. En plus de ces procédés de gravure, l'graveur peut également être utilisé pour le nettoyage de surface des plaquettes. TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM dispose également d'un contrôleur de processus bidimensionnel pour optimiser les processus de gravure ainsi que d'un système d'enregistrement numérique des données qui aide à surveiller et à analyser les résultats de gravure. L'interface utilisateur intuitive de l'etcher facilite la mise en place, l'exploitation et la maintenance. En outre, l'etcher est conforme à toutes les normes ISO, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans un environnement de fabrication. L'graveur dispose également d'un régulateur de débit massique à bascule pour un contrôle précis des réacteurs de gravure, ainsi que d'un contrôleur de pression avancé qui aide à obtenir une uniformité de gravure. De plus, les composants électriques puissants de UNITY 2E 85 SCCM assurent un contrôle précis du processus de gravure, tandis que le système avancé de transfert de chaleur aide à maintenir la chambre de gravure et le substrat de la plaquette à une température constante. Globalement, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM est un graveur/asher avancé qui est capable de graver des structures à haut rapport d'aspect sur une large gamme de substrats tout en répondant aux normes les plus élevées dans l'industrie des semi-conducteurs. Ses procédés de gravure avancés, son système d'enregistrement numérique des données, ses composants de contrôle de précision et son interface utilisateur intuitive en font un outil idéal pour graver les plaquettes semi-conductrices dans un environnement de fabrication.
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