Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9145475 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD est un graveur/asher à haut débit de haute précision pour des applications industrielles. Il est conçu pour une grande précision, longévité et fiabilité, et est adapté à une utilisation dans les industries des semi-conducteurs et des MEMS/NEMS. TEL UNITY 2E 855DD est un graveur/asher planaire de type pont. Il est chargé d'une source ionique spécialisée à haut courant, de haute précision, comprenant une source combinée pour le magnétron et l'arc multicouche pour la gravure et l'ashing. L'électronique exclusive incorporée dans TOKYO ELECTRON UNITY 2 E 855 DD fournit jusqu'à 5 GHz de fréquence de fonctionnement RF, avec des capacités impulsionnelles permettant des longueurs d'impulsions courtes. Ceci est idéal pour assurer des capacités de gravure très précises et répétables. L'unité fonctionne dans une large gamme de chambres, avec une ouverture de chambre maximale de 350 mm, et une pression de fonctionnement maximale de 5 Pa. Une gamme d'entrées et sorties de gaz, et des solutions de fixation à l'avance sont disponibles pour assurer une adéquation optimale des exigences de processus. L'unité offre un large éventail de paramètres contrôlables, y compris : pression, température, vitesse de gravure et uniformité de gravure. La combinaison des fonctionnalités de TEL UNITY 2E 855 DD permet un contrôle de processus très flexible et reproductible. En plus de ses capacités de gravure, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 E 855 DD fournit également des capacités d'ashing avec sa technique de plasma avancée. Les utilisations du dispositif comprennent la gravure de métaux et de diélectriques pour la fabrication de dispositifs microélectroniques, ainsi que la gravure à haut débit et le soutirage de résiste sur des substrats semi-conducteurs. Il est équipé d'une gamme de dispositifs de sécurité, y compris la protection contre la surchauffe et le verrouillage sous pression pour assurer la sécurité de l'équipement. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855DD est un graveur/asher avancé capable de réaliser des processus de gravure et d'ashing très précis avec un contrôle de processus très reproductible. Avec son large éventail de caractéristiques et de solutions technologiques avancées, il peut être utilisé dans une gamme de procédés industriels, tels que la fabrication de dispositifs microélectroniques et la gravure à haut débit de résiste sur des substrats semi-conducteurs.