Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9145476 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD
ID: 9145476
Taille de la plaquette: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD est un appareil de gravure à sec à part entière conçu pour la gravure de haute précision des dispositifs avancés et le développement de nouveaux procédés. Il a une large gamme de fonctions efficaces qui permettent la gravure précise et précise des couches minces de métaux, céramiques et autres matériaux. Le système intègre deux puissantes sources de gravure, DIST-X et DIISET, pour fournir une gravure ionique réactive rapide et stable. De plus, sa fonction Multiple Plasma Source (MPS) permet d'améliorer l'uniformité et la répartition de la puissance sur l'ensemble du substrat, assurant une qualité de gravure supérieure des couches minces délicates sur une grande variété de substrats. TEL UNITY 2E 855DD utilise une série de technologies de pointe pour offrir une gravure précise. L'unité utilise une machine d'impédance avancée pour assurer des processus de gravure fiables et empêcher l'arc. En outre, l'outil dispose d'un contrôle photoélectrique pour des niveaux de puissance optimaux. La technologie avancée de contrôle de la puissance de source fournit une puissance stable très uniforme sur tout le substrat. L'actif intègre également le traitement multi-étapes et le traitement multi-canaux, qui permettent la gravure de précision des couches structurées sur de grands substrats. TOKYO ELECTRON UNITY 2 E 855 DD dispose également d'une chambre de serrure basse pression qui permet de maintenir la charge même lors de l'échange de substrats et permet un traitement plus rapide. Le modèle comprend un module de traitement qui est équipé d'une source de plasma à couplage inductif (ICP) avec une gamme de sorties d'alimentation électrique pour assurer une gravure répétable et fiable. L'équipement dispose également d'un système de contrôle de turbo-pompe avancé pour maintenir efficacement les conditions de la chambre de gravure basse pression. En outre, TEL UNITY 2 E 855 DD est conçu pour être convivial pour une gravure efficace et efficiente. L'interface utilisateur multilingue conviviale permet aux opérateurs de programmer et de surveiller les processus de gravure rapidement, facilement et avec précision. L'unité comprend également une machine de cartographie de plaquettes avec rétroaction en temps réel des recettes de gravure pour surveiller les processus de gravure. La chambre de gravure est facilement accessible pour un entretien périodique. Dans l'ensemble, UNITY 2E 855 DD est un outil de gravure fiable et de haute précision pour un large éventail d'applications. Il combine des technologies efficaces et avancées pour fournir des composants gravés avec précision. La chambre de serrure basse pression et le contrôle avancé de la puissance de la source assurent des processus de gravure reproductibles et fiables. En outre, l'atout est convivial avec une interface intuitive en plusieurs langues pour une programmation et un suivi faciles et précis des recettes de gravure.
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