Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9285006 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD est un graveur/asher de pointe conçu pour fournir des résultats de production de haute performance. L'équipement est utilisé pour la mise en forme et l'empilement des substrats, ainsi que pour les fonctions de cendrage et de gravure. L'etcher/asher est un système à deux racks qui comprend un rack principal de gravure/cendres et un rack hors ligne d'échantillon de cendres/gravure. La crémaillère de gravure/cendrage dispose d'une technologie de vanne à fente directe d'entraînement haute résolution, qui assure un contrôle précis de gravure/cendrage et la précision tout en maintenant un environnement de traitement optimal. L'unité comprend également un module de rotation de plaquettes rotatives multi-axes de grande puissance qui permet une cartographie géométrique du substrat uniforme et précise à grande vitesse. La machine est équipée d'un panneau de gaz haute performance qui fournit des sources de gaz doubles pour les mécanismes de gravure et de cueillette. L'actif dispose d'un sélecteur de gaz intelligent et d'un module de purification des gaz régénérateurs qui peut être utilisé pour optimiser le débit de gaz et maintenir des régulateurs de débit adéquats. De plus, les gaz sources de haute pureté sont livrés grâce à un modèle central de livraison de gaz et à un collecteur de gaz construit sur mesure qui assure une plus grande cohérence et des résultats plus performants. L'équipement est équipé d'un tube en quartz électro-statique de taille 4 « par 8 », qui fournit une plate-forme de gravure/cendres standard. Le système dispose également d'une chambre adaptée sur mesure qui synchronise l'alimentation en air pour des processus uniformes et cohérents ainsi que d'une chambre scellée sous vide et d'une bobine de pulvérisation à large spectre pour une excellente stabilité de la température. L'unité accueille également une large gamme de gaz de procédé allant de l'Ar, CO, O2 à des produits chimiques avancés tels que le SF6, le CH4, le NF3 et le N2O. De plus, une machine à pression synchronisée et un outil automatisé de contrôle des processus permettent une surveillance et un contrôle des processus de haute précision. Dans l'ensemble, TEL UNITY 2E 855DD est un actif avancé de graveur/asher qui fournit des résultats de haute performance et de production. Le modèle est doté d'une commande de gaz ré-émise supérieure, d'une technologie de vanne à fente haute résolution et d'un module rotatif multi-axes de rotation des plaquettes. En outre, les systèmes intelligents de sélection de gaz et de purification des gaz régénérateurs sont conçus pour maintenir la réactivité et la stabilité du procédé. Avec sa chambre d'adaptation personnalisée et sa bobine de suscepteur à large spectre, l'équipement est capable d'obtenir un contrôle et un contrôle exceptionnels de la température et des processus de haute précision.