Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI #9285005 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI est un appareil de gravure à haute performance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est idéal pour la gravure de structures de haute précision sur une variété de matériaux dont le silicium, l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium et les métaux. L'unité est capable de produire des tailles de caractéristiques entre 10 et 1000nm, et peut être utilisé pour la gravure sèche et humide. La machine se compose de deux composants principaux ; la chambre de gravure et la source d'énergie. La chambre de gravure offre un environnement à vide élevé pour la gravure et une atmosphère protectrice pour le matériau gravé. La source d'énergie se compose d'un générateur haute fréquence et d'un contrôleur de puissance qui produisent un champ électrique alternatif pour activer le processus de gravure. L'énergie électrique est réfléchie vers la chambre de gravure, qui sert à entraîner les espèces réactives vers la pièce. L'outil a une entrée de gaz de procédé et est capable de traiter une variété de gaz, y compris CF4, CHF3, et ArCl. Ces gaz sont utilisés pour former diverses espèces chimiques dans la chambre de gravure. La chambre est équipée d'un actif d'agitation qui fait circuler le gaz de procédé et les ions énergétiques à l'intérieur de la chambre, afin d'assurer une répartition uniforme des gravures sur la pièce. Plus important encore, TEL Unity 2E 855 DI est très précis et contrôlable avec précision. Le modèle de commande numérique est capable de faire varier les paramètres électriques tels que les niveaux de fréquence et de courant, et de régler et maintenir la vitesse de gravure. De plus, il est capable de contrôler avec précision les paramètres du processus de gravure tels que la pression, la température et le débit de gaz. En résumé, TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI est un graveur/asher de haute performance utilisé pour des microstructures de précision dans l'industrie de la microélectronique. L'équipement est capable de contrôler exactement les paramètres, pour des distributions de gravure uniformes et une composition de gravure uniforme sur l'ensemble de la pièce. Le champ électrique alternatif produit active le processus de gravure, avec la vitesse de gravure contrôlée avec précision, permettant des microstructures de haute précision.