Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #9051321 à vendre en France
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ID: 9051321
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Oxide etcher, 8"
(2) Chamber
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity 855DD est un graveur à plasma haute spécification développé par TEL (TOKYO ELECTRON) Ltd. Ce graveur/asher a la capacité d'offrir une gravure plasma de haute précision des cartes de circuits, des substrats SiGe, des plaquettes et des nanomatériaux. Il est également capable de plasmatiser ces mêmes matériaux avec une précision exceptionnelle. Le 855DD utilise une conception d'alimentation à haute vitesse impulsionnelle afin qu'il puisse fonctionner avec une capacité de charge de travail élevée et minimiser l'usure des électrodes. Il dispose d'un contrôle indépendant du plasma à double zone qui permet à la fois de graver et d'aspirer les substrats traités. Le contrôle à double zone permet une plus grande uniformité de gravure et la répétabilité du processus. Le 855DD est également équipé de tubes de mélange de matériaux de longue durée, whcih assure un refroidissement uniforme des substrats pendant les cycles de gravure et de cendrage. Ils offrent aux utilisateurs une flexibilité supérieure dans la gravure et l'ashing qu'ils doivent faire. Le 855DD dispose d'une chambre de vision de 48 pouces, qui abrite deux systèmes de gravure et de cueillette séparés, et dispose également d'un système de refroidissement intégré de l'eau pour les électrodes. L'équipement peut détecter automatiquement la température des électrodes en fonctionnement pour limiter les contraintes thermiques qui peuvent entraîner des taux de défauts plus faibles et des rendements plus élevés. Le 855DD peut traiter simultanément les surfaces supérieure et inférieure des substrats. Cela améliore le débit et rend le processus de gravure et de cueillette plus cohérent et efficace. Le 855DD utilise une technologie avancée de contrôle des processus de haute qualité pour permettre aux utilisateurs de surveiller le processus de gravure et de cueillette avec précision. Il fournit également aux utilisateurs une multitude de paramètres d'optimisation des processus, leur permettant d'affiner les processus de gravure et d'ashing pour obtenir les meilleurs résultats pour toute tâche effectuée. Dans l'ensemble, le 855DD est un graveur/asher avancé conçu pour fournir aux utilisateurs des capacités de gravure et d'ashing supérieures. Il dispose d'un contrôle plasma de haute précision, d'un débit de processus élevé et de fonctions de contrôle de processus avancées pour fournir aux utilisateurs une solution de gravure et d'ashing facile à utiliser avec un degré de précision très élevé.
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