Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #293585754 à vendre en France
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TEL Unity 85DD/W1 est un graveur/asher conçu pour des applications à très haut débit. Il offre une fonctionnalité avancée avec un débit de production accru et un contrôle avancé des processus au niveau des plaquettes. Le Unity 85DD/W1 est équipé d'une puissante source de plasma, d'une chambre à gaz sec basse pression, d'un système avancé d'alignement des plaquettes et d'une logique numérique programmable fine pour un contrôle précis des étapes individuelles du processus. Les options sources pour l'Unity 85DD/W1 sont à la fois RF et DC. Il peut être utilisé pour graver une grande variété de matériaux, y compris des conducteurs, diélectriques et organiques. La source RF fonctionne avec une gamme de fréquences de 600 kHz à 200 MHz et peut être utilisée pour nettoyer, feuilleter les couches et réaliser des gravures plus profondes dans des matériaux durs tels que les métaux. La source DC fonctionne à basse fréquence (jusqu'à 5kHz) et peut être utilisée pour la gravure de matériaux plus doux tels que les matières organiques et les caractéristiques de gravure micron-échelle. Le Unit 85DD/W1 fournit une chambre sèche basse pression, qui est capable de maintenir la pression de la chambre à > 0,25 torr pendant que les gaz de procédé de gravure sont introduits dans la chambre. La pression de la chambre est contrôlée et contrôlée automatiquement ; cela permet une répétabilité et un contrôle précis des processus ainsi qu'un alignement plus précis des plaquettes. Le Unity 85DD/W1 est équipé d'une grande logique numérique à son cœur, permettant une flexibilité et une capacité de programmer des gravures personnalisées et des séquences de bandes en fonction des besoins des utilisateurs. La logique numérique offre également des capacités de traitement de données rapides et prodigieuses, permettant des réglages précis des performances à la volée. L'Unité 85DD/W1 dispose également d'un système avancé d'alignement des plaquettes. Les plaquettes sont d'abord chargées sur une cassette de plaquettes, puis placées sur un chariot de haute précision, qui est déplacé dans la chambre de graveur. Un bras robot se déplace ensuite à l'emplacement du chariot et aligne avec précision la plaquette avant la gravure. Le Unity 85DD/W1 est un graveur/asher avancé avec une gamme impressionnante de fonctionnalités et de fonctionnalités. Sa source de plasma avancée, sa chambre sèche basse pression, sa logique numérique et son système d'alignement des plaquettes lui permettent de réaliser des processus à très haut débit avec un contrôle de précision. Le Unity 85DD/W1 est le graveur/asher de choix pour les applications avancées.
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