Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD #293827845 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 85DD est un graveur/asher automatisé et programmable qui est utilisé dans la fabrication et la production de plaquettes semi-conductrices. Cette machine se compose de quatre composants fondamentaux : la chambre de serrure, le mandrin électrostatique, le procédé de gravure ionique réactive (RIE) et le système de dépôt physique en phase vapeur (PVD). La chambre de serrure est un environnement clos avec des conditions de vide ultra élevé qui permet le chargement et le déchargement des substrats. La température interne est variable de sorte que différentes applications peuvent être effectuées et l'approche unique permet le chargement et le déchargement du gaz de gravure. Le mandrin électrostatique permet de maintenir la plaquette en place pendant le processus de gravure/cueillette. Le procédé RIE est utilisé pour la gravure et le dépôt physique en phase vapeur (PVD) est utilisé pour le processus de cueillette. Le procédé RIE consiste à appliquer une tension entre le substrat et le mandrin qui crée un champ électrique. Ce champ électrique permet de créer une décharge plasma qui déplace le matériau de dépôt qui entoure le substrat. Le procédé PVD implique la création d'une couche de matériau par le bombardement de molécules de gaz avec une source d'énergie élevée. Cette source d'énergie peut être de la puissance à haute fréquence ou de l'énergie du faisceau d'ions, comme les ions argon dans le cas de TEL Unity 85DD asher/etcher. Grâce aux capacités uniques de TOKYO ELECTRON UNITY 85 DD, le temps de processus peut être optimisé avec le matériel automatisé et les logiciels avancés. L'interface du dispositif comprend un panneau tactile capacitif et un capteur pour surveiller les différentes étapes du processus d'application. En fonction de l'application spécifique, ce dispositif peut traiter des tailles de plaquettes jusqu'à 8 "et a des caractéristiques qui optimisent l'uniformité de gravure, la vitesse de gravure, le temps de processus, et le contrôle des particules pour des rendements plus élevés. Globalement, TEL UNITY 85 DD est un graveur/asher avancé conçu pour la fabrication et la production de plaquettes semi-conductrices. L'appareil dispose d'une interface utilisateur intuitive, de matériel automatisé et de logiciels intégrés qui permettent d'optimiser le temps du processus. Il peut gérer des substrats jusqu'à 8 ", et des caractéristiques telles que l'uniformité de gravure, la vitesse de gravure, le temps de processus, et le contrôle des particules pour des rendements plus élevés pour des applications spécifiques.