Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #133474 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un graveur ou asher de pointe conçu pour le marché des semi-conducteurs. Avec ses capacités de traitement inégalées, TEL Unity EP garantit des géométries exactes et répétables, quelle que soit l'application. TOKYO ELECTRON UNITY-EP est basé sur un concept de conception très modulaire, permettant de l'adapter à un large éventail de besoins. Le système se compose de trois caractéristiques principales : une chambre de traitement, une alimentation électrique et un centre de micro-traitement. Trois modules supplémentaires sont également inclus, offrant des fonctionnalités supplémentaires telles que le traitement des plaquettes, le nettoyage sur banc humide et la capacité de détection des gravures. La chambre de procédé de TEL UNITY-EP est construite en acier inoxydable avec un coefficient de dilatation à haute température. La chambre est conçue pour résister à des conditions de traitement agressives et peut fonctionner en continu jusqu'à un an sans entretien. Une serrure de charge montée au sommet permet un traitement rapide et un accès rapide aux substrats. L'alimentation électrique utilisée dans TOKYO ELECTRON Unity EP est un système de contrôle des impulsions en courant continu à quatre étages, qui peut générer des paramètres de gravure précis et répétables dans un large éventail de conditions de processus. Cela garantit des géométries exactes et un contrôle précis de la densité. Au cœur d'UNITY-EP se trouve le centre de micro-traitement, basé sur la technologie la plus récente. Ce cœur de micro-traitement comprend un contrôle sophistiqué de la température locale et mondiale, une surveillance avancée des processus et une détection de la PD. Le système comprend également un éditeur de recettes, permettant aux utilisateurs de configurer et d'automatiser leurs recettes de gravure. Les trois modules supplémentaires de Unity EP fournissent des capacités de traitement supplémentaires. Le module de traitement des plaquettes est conçu pour maximiser le débit de traitement et éliminer la contamination par les particules. Le module de nettoyage sur banc humide permet d'assurer une gravure précise de manière propre et efficace. Enfin, le module de détection de gravure assure une surveillance et une détection précises des paramètres critiques de gravure. Globalement, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP de TEL est un graveur ou asher très avancé conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fonctionne comme une machine bien huilée et fournit des géométries et un contrôle de densité précis et reproductibles quelles que soient les conditions du procédé. L'unité est en outre soutenue par un puissant cluster de modules matériels et logiciels, permettant aux utilisateurs de l'adapter à leurs besoins.