Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084597 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un équipement de gravure/cueillette de haute précision conçu pour des applications de fabrication électronique. Il dispose d'un système de gravure/cueillette de haute précision avec une stabilité de contrôle de 100nm et est capable de graver/cacher des substrats semi-conducteurs avec des épaisseurs allant de 200nm à 10mm. TEL Unity EP dispose d'une fenêtre de rapport d'aspect réglable en continu (CARW) qui permet d'établir une fenêtre de rapport d'aspect définie par l'utilisateur. Ceci permet la gravure/cueillette précise de géométries de dispositifs spécifiques. L'unité est également équipée d'une machine d'alignement laser haute résolution pour une précision et une fiabilité améliorées. TOKYO ELECTRON UNITY-EP utilise un vide élevé (< 25mbar) pour améliorer les performances de gravure/cueillette. Cela garantit un cycle de gravure/cueillette propre et efficace. L'outil comprend également une serrure à vide permettant le transfert sécurisé des plaquettes à l'intérieur et à l'extérieur de l'actif. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP dispose de capacités sophistiquées de commande d'étage de mouvement qui permettent des opérations à grande vitesse. Le modèle est équipé d'un équipement de positionnement électromécanique de haute précision. Ceci assure le placement précis des motifs gravés ou cendrés. TOKYO ELECTRON Unity EP fournit une suite logicielle puissante pour contrôler les processus de gravure/ashing pré-programmés et personnalisables. Cela inclut les capacités avancées de contrôle des processus. Le logiciel comprend une interface utilisateur graphique qui simplifie la configuration du processus de gravure/ashing et donne à l'utilisateur des capacités avancées de surveillance et de contrôle. TEL UNITY-EP est très flexible et peut être configuré pour s'adapter à une variété d'applications de fabrication. Il peut être utilisé pour la gravure/cueillette de divers substrats dont du silicium, des semi-conducteurs composés et des matériaux III-V. Il peut également être utilisé pour effectuer plusieurs processus de gravure/cendres sur une seule plaquette. UNITY-EP est un système de gravure/ashing fiable et performant qui offre aux utilisateurs la flexibilité et la précision nécessaires pour les applications critiques de fabrication électronique.