Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9144791 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un graveur/asher multifonctions performant. Il est conçu pour fournir à l'utilisateur une capacité de processus fiable, rentable et large. L'architecture sous-jacente de l'équipement TEL Unity EP est construite autour de boîtiers de contrôle de sources multiples et spécialisés, y compris un système de contrôle de l'alimentation en gaz, un moniteur de processus et une console de contrôle. Cette architecture unifiée facilite non seulement l'optimisation des processus et minimise l'interaction entre les utilisateurs, mais elle se traduit également par des performances unitaires supérieures. En termes de capacité de processus, TOKYO ELECTRON UNITY-EP etcher/asher est capable de fournir des facteurs de gravure/séchage élevés dans une variété de chimies de gravure/séchage. Avec des températures allant de 100 à 500 degrés Celsius et une pression d'entrée allant jusqu'à 0,5 Pa, il est capable de traiter des plaquettes à partir de divers matériaux tels que Si, GaAs et InP. Une variété d'options sont disponibles pour personnaliser TEL UNITY-EP etcher/asher, y compris divers modules de tuyauterie de gaz, changeurs de tuyaux mécaniques, et modules d'accès à distance. De plus, la machine est conçue pour être flexible, permettant l'intégration de diverses autres options et mises à niveau disponibles, telles qu'un interféromètre laser, un outil de verrouillage de porte ou un arc pilote à impulsion automatique. Enfin, TEL/TOKYO UNITY-EP etcher/asher est conçu pour assurer un haut niveau de sécurité et des performances fiables grâce à plusieurs fonctionnalités de conception, telles que des fonctions de sécurité enrichies, Start/Mute Functions, et un atout d'arc automatique en option. À cette fin, il est également conforme aux normes et règlements de sécurité internationaux, fournissant un processus de gravure/séchage sûr et efficace. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON/TOKYO Unity EP etcher/asher fait un choix idéal pour des applications de gravure/séchage exigeantes qui nécessitent des performances élevées et des capacités de processus robustes. La combinaison de son cadre économe en énergie, d'une architecture fiable et de contrôles intuitifs se traduit par un produit facile à utiliser et très efficace, ce qui en fait un choix idéal pour les professionnels de l'industrie des semi-conducteurs.
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