Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9180754 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un graveur/asher de pointe destiné à l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil avec des fonctions avancées qui augmentent le taux de gravure, assurent une gravure uniforme et une excellente reproductibilité du procédé. Il utilise le fonctionnement à double énergie avec des sorties de faisceau d'électrons et de faisceaux d'ions pour la détermination précise des matériaux. C'est un outil puissant pour produire des modèles à haut rendement avec une défectivité minimisée. Les principales caractéristiques de TEL Unity EP sont sa chambre de décharge capable et sa séquence de traitement à structure empilée. Sa chambre de décharge est garnie d'un isolant très efficace qui empêche l'amélioration de la chaleur tandis que la chambre à gaz très efficace fournit une précision idéale pour les processus de gravure ou de cueillette. Ceci est rendu possible grâce à un balisage tridimensionnel très précis qui permet une gravure en deux étapes (ou ashing). TOKYO ELECTRON UNITY-EP fournit également un équipement d'alimentation en gaz amélioré qui comprend une alimentation en gaz de type distribution et un système d'injection nouvellement conçu. La première offre un débit de gaz plus uniforme et la seconde une pression de gaz plus élevée, permettant un traitement uniforme sur une large gamme de substrats. Unity EP soutient également l'utilisation de Multi-Etch Plan (MEP), un logiciel avancé de contrôle des performances. Cela permet aux utilisateurs de contrôler la température de gravure et de substrat de l'appareil, la vitesse de gravure et les paramètres de mélange de gaz avec facilité. Comme bonus supplémentaire, MEP peut être utilisé pour stocker des données pendant une vingtaine de jours afin que les utilisateurs puissent enregistrer et suivre leur historique de processus de gravure. TEL UNITY-EP dispose également d'une unité de gestion d'appareil standard. Cela permet le fonctionnement à distance de l'appareil et contient également des informations sur le matériel et les logiciels spécifiques de l'appareil. Enfin, il existe une machine de maintenance complète. Cet outil permet aux opérateurs de gérer et de surveiller le processus de gravure et d'ashing, l'historique des erreurs et la maintenance de routine. En conclusion, UNITY-EP est un graveur/asher avancé qui se concentre sur la gravure uniforme et l'excellente reproductibilité du procédé. Ses caractéristiques très avancées permettent de modeler avec précision les matériaux, d'améliorer les systèmes d'approvisionnement en gaz et de disposer d'un équipement de maintenance complet. Avec sa puissante capacité à produire des motifs à haut rendement avec une défectivité minimale, ce graveur/asher est un outil indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs.