Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9188580 à vendre en France

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ID: 9188580
Taille de la plaquette: 8"
CVD System, 8" (3) TiN Chambers Electrical cabinet included.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un graveur/asher avancé de faisceau d'électrons à haute performance. Il utilise une combinaison unique de traitement à haut débit et de gravure à faible énergie pour créer des motifs très précis sur divers matériaux. TEL Unity EP utilise un équipement de balayage de faisceaux d'électrons en boucle fermée et une variété de techniques de génération de motifs pour créer des caractéristiques de surface finement détaillées sur divers substrats. Pour garantir une grande précision, TOKYO ELECTRON UNITY-EP est équipé d'un système de contrôle de position du faisceau extrêmement précis et d'une unité de contrôle de la déviation du faisceau à grande vitesse. La machine à balayer en boucle fermée est capable de fournir des motifs de gravure uniformes sur une large surface. La machine est également capable d'aligner différentes caractéristiques de processus en adaptant la même position de faisceau pour assurer la répétabilité. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP est équipé d'un puissant générateur de motifs semi-conducteurs. Ce générateur de motifs est capable de créer rapidement des motifs très complexes qui sont utilisés pour graver des caractéristiques précises sur des matériaux tels que des plaquettes à base de silicium. Les motifs très détaillés créés par Unity EP permettent des techniques de gravure très avancées qui ne sont pas possibles avec la méthode traditionnelle « blanking ». La gravure avec TEL UNITY-EP permet un fonctionnement à haut débit avec des températures de traitement extrêmement basses. Ce procédé de gravure à faible énergie réduit le risque de gravure inégale causée par des gradients à haute température. Cette efficacité de gravure lui permet de créer des motifs complexes tout en préservant les propriétés de coeur du substrat. La machine est également capable de détecter la netteté des bords, ainsi que de contrôler l'angle et le rapport d'aspect des caractéristiques gravées. TOKYO ELECTRON Unity EP dispose également d'un outil de visualisation vidéo haute résolution et d'un contrôle précis de l'énergie du faisceau. Cet atout améliore la précision de la création de motifs et permet au modèle de bien correspondre aux modèles dans l'ensemble de la plaquette. Dans l'ensemble, UNITY-EP est un puissant et très précis graveur/asher de faisceau d'électrons qui est considéré comme la norme de l'industrie pour la création de motifs ultra-précis.
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