Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9208203 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un équipement de gravure/cendres de pointe conçu pour le traitement à haute résolution et à haut débit. Le système comprend trois composants principaux : une station de base, une source de plasma de précision et une chambre amovible. La station de base fournit à la fois un contrôle de processus et une interface de moniteur. La source de plasma fournit du plasma haute énergie et haute densité, assurant une gravure optimale et des performances de cendrage. La chambre amovible abrite la pièce, offrant des conditions de chambre idéales et permettant un échange facile entre les différents processus de gravure/cueillette. L'unité est équipée d'une variété de systèmes de contrôle et de surveillance des processus pour assurer un traitement efficace et précis. La source de plasma de précison est régulée par une alimentation numérique avancée, qui offre des niveaux de puissance précis et cohérents pour chaque cycle. Les systèmes de diagnostic embarqués contrôlent la température de la pièce de travail, le débit plasmatique, le taux de gravure/cendres et d'autres variables, ce qui permet de détecter rapidement les écarts de processus. Des dispositifs de sécurité supplémentaires sont inclus pour protéger l'intégrité de l'appareil et de l'environnement. TEL Unity EP est capable de gérer divers processus de gravure et d'ashing, y compris la gravure par plasma, la gravure humide, la gravure physique et une gravure d'isolement. La gravure plasma et la gravure physique sont supportées par le modèle de contrôle programmable de l'actif. Des processus de gravure et de cendrage complexes sont rapidement et avec précision, permettant des processus à haut débit. TOKYO ELECTRON UNITY-EP intègre également une variété de fonctionnalités avancées telles que l'autodiagnostic et un capteur en ligne, permettant l'observation de processus en temps réel et le contrôle des cycles de gravure/ashing. UNITY-EP est conçu pour un traitement robuste et de haute précision. L'équipement dispose de techniques avancées de micro-traitement et de contrôle en boucle fermée, offrant une précision et une répétabilité élevées. Le système est également très économe en énergie, permettant de longs cycles de processus et une consommation d'énergie réduite. Tous les composants utilisés pour l'unité sont testés pour des performances supérieures afin d'assurer un maximum de performance et de fiabilité. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP est une machine de gravure/cendres spécialement conçue pour le traitement à ultra haute résolution. Doté de systèmes avancés de contrôle de processus, source de plasma de précision et chambre amovible, l'outil assure des performances de gravure et de cueillette optimales pour une variété de processus de gravure et de cueillette. L'actif est très efficace et fiable, fournissant une solution robuste pour un traitement haute performance et à haut débit.