Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9236828 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un graveur/asher avancé. Il est adapté à une variété d'applications telles que la fabrication TFT-LCD, OLED, IC, et MEMS. Il est connu pour ses performances exceptionnelles de gravure et de cendrage, ainsi que pour son support pour les procédés avancés. TEL Unity EP est une station multi, multi-gaz etcher/asher. Il est capable d'assurer un contrôle précis de la vitesse de gravure, de l'uniformité, de la sélectivité, du profil des parois latérales et des surfaces exemptes de contamination. Il dispose d'un système automatisé de compensation des charges pour assurer des résultats cohérents du processus, peu importe la masse ou la couche du substrat. Il est également équipé de systèmes avancés de distribution de gaz et de contrôle du débit massique pour supporter des vitesses de gravure jusqu'à dix fois plus rapides que les graveurs classiques. De plus, il est capable de supporter des processus complexes avec des sources de gravure multiples et des gaz multiples. En outre, TOKYO ELECTRON UNITY-EP propose une conception modulaire pour simplifier et accélérer la maintenance et l'intégration. Il garantit que moins de pièces et de composants sont nécessaires pour installer et entretenir le cendrier. Il offre également des systèmes de surveillance améliorés pour améliorer la productivité et la stabilité des processus. Le système de contrôle de processus dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive pour permettre une configuration de processus simple et le développement de recettes. Unity EP est bien adapté à un large éventail d'applications, avec son expertise avancée en gravure et ashing et son support pour les processus modernes. Il offre une stabilité et un contrôle de processus avancés pour fournir des solutions rentables pour la production de masse. En outre, il est très efficace sur le plan énergétique, ce qui en fait un excellent choix pour les fabricants soucieux de l'environnement.
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