Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9283079 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP (également connu sous le nom de graveur/asher) est un équipement de gravure et d'ashing à base de plasma très avancé pour un traitement rapide, propre et uniforme des échantillons. Il combine les capacités de gravure et d'ashing plasma, un processus qui enlève du matériel afin de créer des dispositifs microélectroniques, en une unité compacte, automatisée. TEL Unity EP utilise la puissance d'une source de plasma à décharge diélectrique à cathode creuse (HDBD) pour obtenir des taux de gravure et une sélectivité du substrat élevés. Cette technologie est conçue pour fonctionner dans les processus humides et secs, donnant aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour traiter différents types d'échantillons. La plateforme est basée sur une architecture ouverte intuitive et offre un contrôle entièrement programmable sur tous les processus. TOKYO ELECTRON UNITY-EP dispose également d'une interface utilisateur intuitive et d'un affichage graphique qui permet aux utilisateurs de surveiller les paramètres de gravure et d'ashing. Ce système peut être utilisé pour modeler des cartes de circuit à une résolution de 10 microns ou plus et graver à travers des matériaux de 0,5 mm. TOKYO ELECTRON Unit EP est optimisé pour la production de circuits intégrés (IC) et offre plusieurs fonctionnalités qui facilitent les fabrications IC. Par exemple, la machine est équipée d'un porte-substrat en quartz qui permet un fonctionnement à haute température et qui peut être utilisé avec des gaz de gravure tels que des mélanges azote, argon, oxygène et argon-oxygène. Il peut également atteindre un taux de gravure élevé sur une large gamme de paramètres. La plate-forme comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité telles que la détection de gaz, la protection contre les surpressions et un cycle de gaz inerte. De plus, l'outil est équipé d'un piège à ions qui est utilisé pour réduire l'instabilité de la source de plasma lors des processus de gravure du plasma. Cette fonctionnalité garantit la fiabilité et la reproductibilité du processus de gravure. Unity EP offre également une grande flexibilité et supporte une large gamme de produits chimiques et de substrats de gravure. Il est capable de traiter à la fois des matériaux non conducteurs et conducteurs, tels que des polymères et des métaux, et est adapté pour la gravure d'une variété de vias, de trous de contact et de caractéristiques sur un substrat. Son grand volume d'actifs permet également aux utilisateurs d'accueillir facilement de grands substrats tout en gravant plusieurs échantillons. Dans l'ensemble, UNITY-EP est un modèle de gravure et d'ashing puissant et polyvalent capable de gérer une grande variété de substrats et de processus de gravure. Avec ses capacités avancées et son design intuitif, c'est un outil idéal pour un traitement rapide, propre et uniforme des échantillons dans l'industrie de la fabrication d'IC.