Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9366422 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP est un équipement de graveur/asher automatisé hautement fiable utilisé pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il utilise des systèmes de sources de lumière ultraviolettes, des systèmes de mesure de la résistance à la photo et des systèmes de convoyage pour graver, déposer et dessiner des motifs sur des plaquettes. Il en résulte une amélioration du rendement et de la qualité du produit. Le système EP TEL Unity dispose d'une chambre de gravure E avec une capacité maximale de plaquettes de 200mm, et d'un asher plasma avec une capacité maximale de plaquettes de 300mm. Il convient à la gravure et à la cueillette de divers matériaux, dont le GaN, le Ga As et le SiC. L'unité dispose également d'une machine de mesure PAR (Photo/Acid/Resist) APx pour mesurer la résistivité et les zones exposées sur les plaquettes. L'outil est très modulaire, ce qui signifie que les composants peuvent facilement être échangés, ce qui permet des niveaux de flexibilité plus élevés. Les composants comprennent une source de lumière ultraviolette, un aligneur de masque, un atout de livraison de photorésist, un modèle de durcissement UV, un équipement de convoyage, un système d'élimination des billes de bord, un microphone laser, un scanner infrarouge et une unité de refroidissement des plaquettes. Tous les composants sont programmés pour optimiser les processus de gravure, de cueillette et de collecte de données. Ceci, à son tour, permet d'améliorer les rendements et la qualité des produits. TOKYO ELECTRON UNITY-EP est équipé de la technologie TEL « Real-Time Etch Monitoring » (RETM), qui permet aux utilisateurs de suivre les progrès de la gravure en temps réel. Cela permet aux utilisateurs de faire des ajustements rapides qui aident à réduire les défauts et à améliorer la qualité du produit. L'unité dispose également d'une machine de surveillance et de journalisation des processus à distance, permettant aux utilisateurs d'enregistrer et de surveiller les processus de gravure et les résultats. La plate-forme unifiée combine l'équipement de procédé etcher, plasmas asher et post-cendres en une seule plate-forme, offrant un haut degré de flexibilité et de rentabilité. L'architecture intégrée permet un traitement rapide et un faible entretien, ce qui en fait un choix idéal pour les opérations de fabrication de plaquettes semi-conductrices.