Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #293807031 à vendre en France
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ID: 293807031
Oxide etcher
AC Rack type: ECC V1
TMP / Robot: 007 / 008 (VS2E)
FT-1200W Pump.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IEM (machine de gravure à bande sèche) est la dernière technologie de gravure à film sec. TEL Unity IEM est capable de gravure de haute précision sur différents substrats, y compris le silicium et d'autres matériaux semi-conducteurs, le métal, l'isolant et les matériaux organiques. Il convient également pour les procédés post-gravure tels que le nettoyage de surface, le retrait d'oxyde et le dopage. TOKYO ELECTRON Unity IEM a un design robuste avec trois chambres de processus indépendantes et est capable de manipuler ensemble des tâches de processus jusqu'à 500 mm de diamètre. Il dispose d'un haut degré de précision dans la gravure, assurée par une combinaison de chauffe-air, refroidissement à air forcé, et un équipement de contrôle de processus intégré. Les chauffe-air permettent de reproduire avec précision la recette du procédé de façon à ce que le produit final soit gravé uniformément. Le système de refroidissement à air forcé refroidit rapidement le substrat, évitant les dilatations thermiques indésirables et améliorant les performances du produit. L'unité de contrôle du processus permet également une gravure précise, car elle continue à surveiller les conditions, l'opérateur ajuste les paramètres du processus au besoin. Unity IEM utilise une technologie consommable sûre et efficace, où le matériau de gravure est libéré dans la bonne quantité pour chaque substrat. Il présente également une évacuation fiable, assurant que les champs magnétiques générés par l'graveur n'atteignent pas le substrat, évitant ainsi des dommages ou des contaminations. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON Unity IEM dispose d'une interface graphique intuitive qui peut être utilisée pour fournir des descriptions détaillées des étapes de la recette, aidant ainsi l'opérateur à comprendre tout changement apporté au cours du processus. En outre, TEL Unity IEM est conçu pour être convivial - permettant à l'opérateur d'ajuster les paramètres de la recette de gravure, comme le temps, la pression et l'intensité, sans une machine de commande séparée. Cela permet également une personnalisation complète du processus de gravure, permettant aux utilisateurs d'adapter leur processus à leurs besoins spécifiques. En résumé, TOKYO ELECTRON Unity IEM est un puissant outil de gravure par film sec qui est conçu pour permettre une gravure précise sur une variété de substrats, permettant une personnalisation efficace du produit. Il offre des performances supérieures en raison de son chauffage à l'air, de son refroidissement à air forcé et de sa technologie intégrée de contrôle des processus, tandis que sa technologie consommable et son évacuation fiable contribuent à maintenir un fonctionnement efficace et sûr. En outre, l'interface graphique conviviale ne laisse pas de place aux erreurs et permet d'ajuster facilement les paramètres de la recette de gravure sans un atout de contrôle distinct. Avec Unity IEM, les entreprises peuvent disposer d'une solution fiable de gravure par film sec adaptée à leurs paramètres et exigences uniques.
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