Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 850DI #9092958 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 850DI est un graveur/asher fiable et performant conçu pour des procédés de taille moyenne. Il offre d'excellentes capacités de gravure et de cendrage, un débit élevé et des résultats de processus reproductibles. TEL Unity II 850DI est un graveur/huissier à plasma à couplage inductif (ICP) capable de fonctionner à une puissance maximale de 1000W source de plasma. Il est construit avec un réacteur à électrode octahédrique unique qui permet la délivrance efficace d'une puissance plasma élevée, fournissant une gravure et un cendrage puissants et efficaces. L'équipement dispose également d'un aligneur wafer/gaz de grande précision et d'un système de mouvement de frottement à faible coefficient qui maximise l'uniformité des frottements et améliore la précision d'usinage. L'unité est équipée d'un algorithme unique de contrôle ET qui ajuste automatiquement le débit de gaz, ainsi que le contrôle de pression externe. L'algorithme de contrôle permet de compenser automatiquement les variations de débit et de pression du gaz tout en maintenant les conditions de processus uniformes, en minimisant la rugosité des bords de ligne et en augmentant la répétabilité du processus. La machine comprend également un moniteur de conduite de distribution de gaz qui permet de mesurer la pression et le débit de gaz en temps réel. L'outil est également capable de capacités avec des processus de pièces de haute précision et dispose de capacité de chauffage de chambre indépendante pour améliorer l'uniformité de température et la répétabilité. Il est livré avec des détails AR/VF intégrés ainsi qu'un contrôle corona variable pour des sources SE/BE/Z-Corona fiables. Les diagnostics in situ assurent la cohérence du traitement des plaquettes, tandis qu'un moniteur de gaz réactif adaptatif s'ajuste automatiquement en fonction des conditions du procédé. TOKYO ELECTRON Unity II 850DI offre également des performances supérieures et une utilisation ultra faible du dioxyde de soufre. Il dispose de capacités avancées de manutention de plaquettes telles qu'un pignon de plaquettes in situ et un guide plasma pour l'alignement de plaquettes de haute précision en plus d'une table de plaquettes haute fiabilité sans temps d'échauffement. L'actif répond aux normes réglementaires modernes et limite les émissions de particules et de dioxyde de soufre. Unity II 850DI est le choix idéal pour les processus de gravure et d'ashing avancés, offrant répétabilité, fiabilité et capacités de processus exceptionnelles. Avec son haut débit, son fonctionnement très efficace, ses émissions de dioxyde de soufre extrêmement faibles et ses diagnostics in situ, il est conçu pour répondre à toutes les attentes des clients.