Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855SS #9179093 à vendre en France
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Vendu
ID: 9179093
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Oxide etcher, 8"
Missing parts:
UPS
V2 Control rack power supply
Currently de-installed
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 855SS est un graveur de nouvelle génération conçu pour les applications industrielles les plus exigeantes. L'équipement est un processus de gravure/cendrage fiable et efficace pour les caractéristiques de la ligne fine et les produits semi-conducteurs. Il dispose d'une interface humaine intuitive avec des programmes conviviaux et un moniteur couleur optimisé pour un contrôle précis du processus de gravure/cendrage. Le procédé peut fonctionner efficacement sur des composants aussi petits que 0,25 micron, et est capable de graver/cacher jusqu'à 150 mm plaquettes. Il est équipé d'un système de recuit à air sec de haute capacité de 500m3/sec pour des traitements thermiques efficaces, ainsi que d'une unité de transport de plaquettes à réponse automatique. La gravure/cendrage basse tension de la machine produit des motifs gravés/cendrés de haute qualité avec une perte de matière minimale, et dispose de commutation rapide de graveurs/cendres et de régimes pour améliorer la productivité. L'outil comprend un programme de diagnostic avancé pour la détermination précise des défauts et des fichiers maîtres pour le rappel des plaquettes, afin que la production puisse reprendre rapidement et efficacement. L'unité dispose également de fonctions de contrôle de haute précision E-Gun et B-Gun, ainsi que de commandes de livraison de faisceau pour des cycles de processus plus rapides. Dans l'ensemble, TEL Unity II 855SS est un atout fiable et efficace de gravure/cendrage qui permet de produire efficacement des caractéristiques de ligne fine de haute qualité et des produits semi-conducteurs.
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