Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DD #188831 à vendre en France

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ID: 188831
Dry Etch/Oxide, 8" SMIF Interface Ready Software version: 3.00 Rev 206-PMS-3.11a Chambers: PM 1: Unity II 85 DRM Oxide Etch ESC Type: Ceramic Process Kit Material: Quartz Lower RF: ENI OEM-25B Turbo: Ebara ET600WS PM 2: Unity II 85 DRM Oxide Etch ESC Type: Ceramic Process Kit Material: Quartz Lower RF: ENI OEM-25B Turbo: Ebara ET600WS Process Kit: Botttom Electrode: 1D10-100582-14 Upper Electrode: 1D10-201429-15 Focus Ring: 1D10-302209-14 Plate Baffle: 1D10-100854-14 Shield Depo: 1D10-303124-16 Ring Insulator: 1D05-300052-13 Cover Bellows: 1D10-200734-14 Chiller: SMC INR499-201 1997 Vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 85DD est un équipement asher/etcher conçu pour le nettoyage, la texturation et la gravure de plaquettes de silicium dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le système est conçu pour fournir des résultats précis et reproductibles pour des applications telles que le nettoyage et la gravure, ainsi que pour des applications de micromachining. Avec TEL Unity II 85DD, les utilisateurs peuvent programmer des processus à l'aide d'une interface graphique intuitive ou d'un puissant langage de commande. L'unité dispose d'un écran tactile SVGA de 8,5 pouces pleine couleur permettant un fonctionnement et une programmation faciles. L'unité dispose de quatre chambres de traitement indépendantes reliées à l'unité de base, permettant un traitement efficace des plaquettes multi-chambres. Les chambres ont une température maximale de fonctionnement de 400 ° C et sont conçues pour les procédés secs et humides. TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DD offre une large gamme de possibilités de processus, y compris la gravure plasma, la gravure oxyde métallique/hydrogène, la gravure des polymères et les films de résistance. La machine dispose également de capacités intégrées de manutention de gaz avec commutation automatique de gaz à faible débit pour minimiser les déchets chimiques. UNITY II 85 DD offre un contrôle précis du processus avec précision et contrôle à 6 axes. Les utilisateurs peuvent programmer et surveiller les recettes en temps réel, ce qui permet de modifier rapidement les processus à mi-parcours. Les données de l'outil peuvent être exportées numériquement pour une interprétation facile des résultats, et TEL UNITY II 85 DD dispose de fonctions d'auto-réglage pour optimiser les réglages afin de maximiser le débit et la répétabilité des résultats. En plus de la configuration standard, l'unité peut être équipée d'une variété d'accessoires et de technologies intégrées. Unity II 85DD est compatible avec une gamme d'effecteurs d'extrémité, y compris les brosses, les aimants, les pinces et les collecteurs de buses. Les options intégrées telles que la manutention automatique des plaquettes, la manutention automatisée des gaz et le contrôle automatique de la pression simplifient encore les processus. En résumé, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DD offre un outil de gravure et de nettoyage puissant et facile à utiliser pour diverses applications. Il est construit selon des spécifications précises, avec des étages motorisés intégrés, et une interface graphique intuitive qui permet aux utilisateurs de programmer et d'exécuter rapidement et facilement des séquences de processus. Avec ses options de manutention automatisée et ses capacités de traitement avancées, l'unité est une solution idéale pour les fabricants de toutes tailles.
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