Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DRM #9112879 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 85DRM est un graveur/asher conçu pour déposer et graver une variété de matériaux sur des substrats. L'instrument utilise deux ensembles de gaz réactifs : la zone basse pression (LPA) pour la gravure et la zone haute pression (HPA) pour le dépôt, toutes deux fournies à travers une chambre ultra-haute dépression montée en bout. La pression interne de la chambre est contrôlée pour s'assurer que les réactions chimiques se produisent à la vitesse et à la température idéales. Le système utilise deux modules de processus indépendants pour assurer un traitement efficace des matériaux. Le premier module, un évaporateur à faisceau électronique, fonctionne dans une large gamme de pressions et de températures pour déposer des films multicouches de quelques nanomètres d'épaisseur seulement sur les substrats. L'évaporateur à faisceau électronique est capable de déposer des métaux, des oxydes, des diélectriques ou des matériaux qui peuvent faire l'objet de traitements complémentaires et complexes. Le deuxième module, une station d'extrémité intégrée, est constitué d'un ensemble d'outils de gravure physique et chimique tels que la gravure par plasma, la gravure par pulvérisation, le broyage ionique et la gravure par pulvérisation à plasma froid. La gravure par plasma, également appelée dépôt chimique en phase vapeur (CVD), utilise des ions à haute énergie pour rompre des liaisons chimiques et créer un champ de plasma qui peut être adapté au matériau désiré. Dans la gravure par pulvérisation, le matériau est érodé par l'application d'un champ électrique haute tension. Le broyage ionique et la gravure par pulvérisation à plasma froid agissent de la même façon sauf à des températures beaucoup plus basses. TEL Unity II 85DRM comprend également plusieurs fonctionnalités supplémentaires, telles que des configurations multiples de buses de processus, des systèmes de contrôle de processus et de contrôle de canon, ainsi qu'un système de contrôle de mouvement. La configuration de la buse de processus peut être utilisée pour configurer le nombre et le type de trous, ainsi que la distance entre eux, permettant aux utilisateurs de générer des lignes, des cercles ou d'autres structures. Les systèmes de contrôle de processus et de canon permettent aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de processus pour déposer le matériau avec précision dans un motif souhaité, tandis que le système de contrôle de mouvement fournit deux axes linéaires, permettant un déplacement précis des substrats pendant le traitement. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DRM est un outil efficace et fiable pour les processus de gravure et de revêtement et fournit aux utilisateurs une gamme de fonctionnalités pour les aider à exécuter des processus précis et fiables. Avec ses deux modules indépendants, il est bien adapté à la création et à la création de nanostructures, et c'est un excellent moyen d'économiser du temps et des coûts.