Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #159332 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II (TEU) est un asher/etcher avancé avec une grande variété d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs et de nanotechnologies. Il est capable de fournir des processus de gravure uniformes de haute qualité, et offre un certain degré de flexibilité et de débit de processus. Le TEU dispose d'une chambre à vide avec une fenêtre circulaire de 2,75 pouces et peut accueillir deux bateaux de 6 pouces ou 8 pouces de wafer. La température de la chambre de procédé peut être contrôlée entre l'ambiante et 350 ° C, permettant un large éventail de procédés chimiques. Le TEU dispose également d'une configuration de refroidissement sans hélium, ce qui le rend idéal pour les procédés chimiques à basse température et la prévention des dommages aux plaquettes. Le TEU utilise un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui consiste à faire passer des réactifs gazeux sur la surface de la pièce afin de déposer un mince film de matière. Les procédés CVD à pression atmosphérique dans le TEU peuvent être utilisés avec jusqu'à 6 plaquettes en cours de traitement à tout moment. Le système de distribution de gaz de gravure du TUE assure un approvisionnement uniforme en gaz de gravure pour une gravure rapide et uniforme, ce qui se traduit par une gravure de haute qualité et de faibles émissions de particules. Le TUE dispose d'un système logiciel embarqué innovant qui peut être utilisé pour contrôler et surveiller le processus du début à la fin. Il comprend une interface graphique conviviale qui permet aux utilisateurs de définir rapidement des paramètres et d'optimiser le processus pour une application donnée. Le logiciel permet également la télécommande du TEU à partir d'un PC en réseau, permettant une surveillance pratique du processus de gravure. Le TUE est un système polyvalent, durable et rentable pour la gravure d'une grande variété de substrats. Il est parfaitement adapté à des applications telles que la gravure de plaquettes à motifs et la recherche sur les technologies de pointe telles que les nanotechnologies. Ses excellentes performances de gravure, son logiciel robuste et son prix abordable en font une option attrayante pour les praticiens de nombreuses disciplines.