Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #184470 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II est un équipement de graveur-asher utilisé pour la fabrication de structures avancées de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un système entièrement automatisé qui utilise une chambre de réaction en phase gazeuse pour réaliser la gravure et la cueillette du substrat, ce qui permet un contrôle de l'épaisseur du film au niveau atomique et une grande uniformité à travers la plaquette. La machine est capable de supporter plusieurs processus et est équipée de procédés avancés tels que HF (gravure), ICP (gravure), CVA (CVD), recuit et gravure à sec. L'unité est adaptée à un large éventail d'applications, y compris la fabrication de condensateurs 3D, via le remplissage de trous, la métallisation, la gravure de substrats rigides et flexibles, et la gravure de surface ultra lisse. TEL Unity II est conçu pour la gravure monobloc, les cendres et les dépôts hors séquence. Il dispose d'une machine automatisée de verrouillage de charge, de surveillance de charge et de contrôle de processus. L'outil etcher/asher est conçu pour assurer un contrôle stable du procédé et améliorer le rendement du procédé avec une large gamme de matériaux, y compris le polyimide, le polyéthylène téréphtalate, les métaux et les matériaux diélectriques à base de silice. Ses capacités de planification et d'essai avancées, y compris la surveillance de la masse des couches minces, l'évaluation de l'uniformité et la gravure des cibles avec des géométries variables, contribuent à l'optimisation des processus. La chambre de réaction en phase gazeuse de TOKYO ELECTRON Unity II etcher/asher est exploitée avec un contrôle de pression dynamique pour permettre la flexibilité du processus. La conception de flux de plaquettes selon la direction Z de la chambre permet une gamme d'opérations de gravure complexes qui utilisent les techniques d'auto-polarisation en ligne et coulombique (CSB). La chambre est également équipée de moniteurs de réaction en ligne pour surveiller l'activité de gravure et les conditions de réaction. Le modèle Unity II etcher/asher comprend également des logiciels de traitement graphique sophistiqués et des systèmes de contrôle de chambre à vide pour faciliter l'optimisation des processus, réduire les temps d'arrêt des outils et améliorer la continuité de l'équipement pour les opérations multi-plaquettes. En outre, le système dispose d'une large gamme de fonctionnalités de sécurité telles que le contrôle PID redondant et le choix de RF ou de réseau hyperfréquence. TEL/TOKYO ELECTRON Unity II etcher/asher unit est un outil de précision pour la fabrication de dispositifs et est conçu pour un fonctionnement continu et fiable. Avec ses caractéristiques avancées et son ingénierie robuste, la machine graveur/asher permet la fabrication de structures même extrêmement complexes avec contrôle à l'échelle atomique et une grande uniformité. C'est un choix idéal pour produire rapidement des composants semi-conducteurs haute performance avec des exigences de tolérance étroite aux vitesses de production.