Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9105196 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II est un graveur/asher qui est utilisé pour les processus de gravure et de cueillette de plasma. TEL Unity II dispose d'une chambre de blindage brevetée, qui permet un équilibre serré des ions, des électrons et des particules neutres pendant la gravure et le cendrage. Cela garantit un processus de gravure et de cueillette précis sans nécessité de recirculation supplémentaire des gaz ou de contamination organique. L'équipement est également très efficace, utilisant un système plasma optimisé pour assurer une plus grande uniformité de gravure et de cendrage. TOKYO ELECTRON Unity II permet un contrôle polyvalent des processus, y compris le contrôle automatique des conditions de la chambre, la polarisation en courant continu, le temps du processus, la pression et les conditions d'écoulement du gaz. Cela aide à éliminer les hypothèses et assure des résultats cohérents tout au long du cycle de gravure et de cueillette. L'unité comprend également une machine active de surveillance de la contamination de la chambre, qui permet d'éviter les déviations inutiles dues au dépôt de particules sur les parois de la chambre. Unity II est conçu pour contrôler simultanément les processus de gravure plasma et d'ashing, permettant à l'utilisateur d'ajuster les paramètres et de visualiser les deux types de processus en même temps. Cela aide à éviter les distractions et permet au processus de fonctionner de manière optimale. De plus, un contrôle précis du débit massique d'air, la filtration des particules d'air, le nombre de mélanges de gravure/cueillette et la vitesse de gravure de l'argon sont possibles grâce à TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II. TEL Unity II comprend également des dispositifs de sécurité de pointe pour prévenir les blessures et la destruction des matériaux. Il comprend une spectroscopie optique d'émission (OES) qui contrôle automatiquement les taux d'émission en coupant l'alimentation électrique en cas d'émission excessive. De plus, TOKYO ELECTRON Unity II est conçu pour minimiser les champs magnétiques parasites en interrogeant automatiquement les particules chargées parasites et en les empêchant de traverser la chambre de processus. Dans l'ensemble, Unity II est un graveur/asher fiable et efficace avec une large gamme de fonctions de contrôle de processus. Sa polyvalence, sa sécurité et sa cohérence en font une machine idéale pour une variété de processus de gravure et de cueillette.