Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293793647 à vendre en France

ID: 293793647
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Oxide etcher, 6" Wafer type: Flat (7) Gas lines Gases: CF4, CHF3, Ar, N2 DAIHEN MFG-20SA3 RF Generator FUJIKIN Manual valve (3) MILLIPORE WG2FT1RR2 Filters (2) VERIFLO SQ60502PFSMM Regulators VERIFLO SQ140E502PFSMM Regulator KURODA B35-2G Regulator NKS Pressure gauge NAGANO KEIKI CB14 Pressure switch Pneumatic valve: CKD AVB21-X0038-FL Vacuum valve FUJIKIN General protective valve VAT 26332-KA71-1001/345 Isolation valve Gas box: Size: 100 Φ Range: 100 CFM 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 65DP est un graveur/asher de haute performance conçu pour les laboratoires de recherche académique et industrielle. Cet équipement de pointe est capable de travailler à des tailles d'échantillons jusqu'à 200 mm de diamètre, avec des températures de processus jusqu'à 350 ° C pour des profondeurs de gravure allant jusqu'à 9 microns, et jusqu'à 0,3 microns pour des processus asher. Le contrôle avancé du profil de processus TEL Unity IIe 65DP permet un large éventail de paramètres de traitement, y compris les recettes de gravure et/ou d'asher en plusieurs étapes. En outre, TOKYO ELECTRON Unity IIe 65DP est construit avec un logiciel de contrôle exclusif TEL qui permet aux utilisateurs de configurer les recettes de processus, de surveiller les conditions et les opérations intuitivement via une interface très graphique sur un PC. Le système peut également être utilisé à distance avec un PC ou un ordinateur portable séparé. Le logiciel offre également des capacités telles que l'enregistrement de données en temps réel, l'enregistrement de l'historique des processus et l'édition/la conception de recettes avec une bibliothèque de plus de 50 000 recettes. Unity IIe 65DP a une conception à l'état solide, assurant la stabilité à long terme en empêchant les influences de l'atmosphère et des vibrations. Les utilisateurs peuvent également bénéficier de ses systèmes de maintenance automatisés qui permettent de maintenir l'unité avec une intervention minimale ou sans intervention de l'utilisateur. La machine est également livrée avec des diagnostics en temps réel pour assurer le fonctionnement optimal de l'outil et le temps de disponibilité. TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 65DP a un design moderne à petite échelle, qui peut être installé presque n'importe quel environnement de laboratoire. Cet actif robuste est conçu pour une grande fiabilité et performance, et peut accueillir une variété de types d'échantillons. Dans l'ensemble, TEL Unity IIe 65DP est parfait pour les universités et autres laboratoires de recherche qui recherchent un graveur/asher haute performance avec maintenance automatisée, contrôle de processus avancé et une interface graphique intuitive.
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