Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293796081 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP
ID: 293796081
Style Vintage: 2001
Oxide etcher 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP est un type de graveur/asher conçu pour déposer des couches minces sur une gamme de substrats. C'est une grande machine industriellement capable avec détection quadruple du point final. C'est un bon choix pour des applications où un dépôt en couche mince très précis est nécessaire. TEL Unity IIe 655PP a une grande chambre, environ 18 « x30 » (45 cm x 76 cm), et dispose d'une conception à double chambre qui permet le dépôt simultané dans les deux chambres. Une chaudière de tube de quartz (actionné par quatre 500W les lampes d'IR) chauffe chaque chambre aux températures jusqu'à 500 °C et l'arrière de la machine loge un rouleau spécial qui fournit un voltage de parti pris de substrate de jusqu'à-100 volts. TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP utilise un système sophistiqué de détection des points d'extrémité. Il combine un détecteur d'endpoint quadruple (QED) avec un processeur d'image numérique (DIP), qui sont tous deux intégrés dans le contrôleur de la machine. Le QED utilise quatre détecteurs infrarouges dans le tube à quartz pour surveiller l'épaisseur et l'uniformité du film, tandis que le DIP analyse les images prises par une caméra spéciale située dans la chambre. Cela permet un dépôt de couches minces très précis et peut donner aux scientifiques des commentaires précieux sur la qualité du processus de gravure ou de cueillette. Unity IIe 655PP a également la capacité d'effectuer une gravure plasma, avec l'aide d'une source de plasma installée dans la chambre. Une particularité de cette machine est le Spike-ID : une technologie de gravure exclusive avancée qui permet la création précise de petites structures ou caractéristiques, ainsi que des structures à haut rapport d'aspect. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP est un excellent graveur/asher pour une gamme d'applications. Son système sophistiqué de détection des points d'extrémité et sa capacité à effectuer à la fois le dépôt de couches minces et la gravure par plasma en font un excellent choix pour des applications ultra-précises nécessitant une grande précision et de petites structures.
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