Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD #9377255 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD est un graveur/asher avancé pour les plaquettes de silicium dans l'industrie de la microélectronique. Il est conçu pour graver et cendre des plaquettes de silicium avec un degré élevé de précision et de précision. Le 845DD etcher/asher utilise un robot 3 axes (x-y-z) pour la manipulation automatisée des plaquettes. Il utilise une robotique manipulateur de plaquettes précise avec trois étages linéaires haute résolution pour permettre le transfert précis des plaquettes entre la chambre en cours de fabrication et plusieurs gousses de plaquettes ainsi que la manipulation précise et rapide des plaquettes dans la chambre de procédés. Les gousses de plaquettes offrent un environnement sûr et stable pour les plaquettes pendant le traitement. Le 845DD etcher/asher est équipé d'un équipement de refroidissement actif et d'un système de chauffage efficace pour la chambre de traitement de la plaquette et les gousses de la plaquette. L'unité de refroidissement active dispose d'un contrôle de température avec une précision de 0,1 ° C et est capable de refroidir à la fois la chambre de traitement de la plaquette et les gousses de la plaquette à une température de -15 ° C en seulement quelques minutes. La machine de chauffage dispose d'un contrôle de température à double zone et est capable de chauffer rapidement la chambre de traitement de la plaquette à la température de consigne souhaitée. Le 845DD etcher/asher est également équipé d'une capacité d'imagerie 3D de résistance avancée. Cette capacité consiste en la gravure laser, qui est utilisée pour modeler une résistance 3D de manière non plane, permettant la formation d'une structure 3D complexe sur la plaquette. Le 845DD etcher/asher dispose également de fonctionnalités avancées de gestion des recettes pour un développement et une optimisation plus rapides des processus. Le 845DD etcher/asher est capable de traiter plusieurs plaquettes simultanément, le temps de traitement dépendant du type de plaquette gravée/ashed et des résultats de procédé souhaités. Selon l'application, il peut graver des plaquettes/cendres avec une résolution latérale ou de profondeur aussi petite que 1nm. Le 845DD etcher/asher est également équipé d'un outil de sécurité fiable et d'un outil de surveillance robuste pour assurer un fonctionnement sans erreur et en douceur. Dans l'ensemble, TEL UNITY IIE 845DD fournit un graveur/asher fiable et de haute précision pour l'industrie de la microélectronique. Il dispose d'une robotique avancée et d'une large gamme de capacités de gravure et de cendrage, ce qui en fait un outil approprié pour la fabrication d'appareils électroniques 3D complexes.