Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85 DPATC #9091881 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85 DPATC est un graveur à ions réactifs renforcé par plasma (PE-RIE) conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et d'autres industries connexes. L'équipement est conçu pour offrir un maximum de performance, de précision et de répétabilité pour la gravure de plaquettes ou d'autres pièces de travail. Le Unity IIe 85 dispose d'une chambre à vide haute précision, d'un transport à débit élevé et d'un système de commande avancé. La chambre est résistante au revêtement et conçue pour une fiabilité à long terme et une gravure très précise. Le Unit IIe 85 PE-RIE a une unité de transport à 3 axes de grande capacité avec une température maximale de 450 ° C Cette machine de transport horizontal offre un transport et un positionnement précis des plaquettes, en maintenant une vitesse de gravure uniforme, constante et répétable à travers la plaquette. La chambre assure également un contrôle précis de la pression, assurant le maintien des paramètres du procédé sans aucune variance. La vitesse de gravure peut être ajustée en temps réel, permettant un contrôle précis des paramètres du processus de gravure. Le processus de gravure est automatisé avec l'Unité IIe 85, simplifiant le processus pour garantir des résultats reproductibles et fiables. L'outil est équipé de la fonction de configuration des paramètres hors ligne qui permet d'entrer et d'optimiser les données pour chaque processus de gravure avant le chargement des plaquettes. Le processus de gravure est ensuite surveillé et ajusté à partir de l'intérieur de la chambre avec un actif de surveillance en temps réel qui peut être surveillé à la fois en chambre et à distance. Le Unity IIe 85 utilise une technologie de contrôle avancée pour maintenir sa haute précision et sa répétabilité. Le modèle utilise un générateur RF pour créer le plasma qui est ensuite régulé par un large éventail de paramètres tels que la pression, la température, le débit de gaz et le courant. L'équipement utilise également un contrôleur IIe pour régler l'inductance du générateur RF. Le Unity IIe 85 est un système PE-RIE avancé et fiable conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et les industries connexes. Il offre le plus haut niveau de performance, de précision et de répétabilité et est capable de processus de gravure automatisés avec surveillance et contrôle en temps réel, permettant aux utilisateurs d'atteindre le plus haut niveau de précision et de débit de production.