Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293759382 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD est un équipement de gravure/asher avancé conçu pour la manipulation de plusieurs substrats et processus. Doté d'un plateau complet de 7 pouces, le système est capable d'accueillir des plaquettes jusqu'à huit pouces de diamètre, offrant une flexibilité de processus rentable pour un large éventail d'applications. De plus, la configuration programmable des plateaux permet une configuration rapide et facile pour tous les besoins du processus. La conception robuste et fiable de TEL UNITY IIE 855 DD comprend une chambre intérieure en acier inoxydable, des modules avancés de contrôle des processus, un dosage de la température, une source RF de type AMAT Model 855DD, une source de courant continu, une capacité de gravure profonde, une source d'énergie élevée PECVD et des outils de traitement de gravure supplémentaires. L'unité est également équipée d'un chargeur de cassette de style cadre ouvert de 20 fentes avec lecteur de codes-barres en option et une option manuelle de chargement parallèle ; et une unité de distribution multi-gaz comprenant des contrôleurs de débit de gaz, des régulateurs de pression et de débit massique. La machine dispose d'une haute précision, outil de contrôle de processus avancé qui permet aux utilisateurs de définir et de maintenir avec précision la pression, la température et les paramètres de contrôle de polarisation. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD fournit également un contrôle des gaz d'échappement, une ouverture et une fermeture NFC propres, ainsi qu'un bouton de précaution « arrêt » pour protéger contre les débuts accidentels de processus ou les dommages à l'équipement. En outre, l'actif est livré avec une protection programmable intégrée pour assurer la sécurité du personnel de traitement et de l'équipement. TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD offre jusqu'à deux moniteurs, permettant aux utilisateurs de suivre la température, la pression et d'autres paramètres de surveillance de processus pendant le traitement. Le modèle dispose d'un équipement intégré de stockage de recettes qui permet aux utilisateurs de stocker et de rappeler jusqu'à 128 recettes uniques à la fois. Ce système comprend également un régulateur de pression à 10 réglages pour optimiser le processus de gravure pour le traitement monobloc et par lots. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD est capable de capturer une variété de données, notamment le temps de gravure, la pression et la température, ainsi que d'autres données en temps réel provenant de la capture d'images de plaquettes, de mesures de couches minces et de photorésistances. Ces données peuvent être recueillies et communiquées aux fins d'analyse. L'unité offre également une machine de surveillance de la santé intégrée (HMS) pour la surveillance continue et la maintenance des outils de refroidissement. En résumé, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD est un actif de gravure/asher offrant une large gamme de capacités de processus intermédiaires et avancés. Doté d'une chambre en acier inoxydable robuste, d'une filtration complète, d'une surveillance avancée des autobus et d'éléments de sécurité supplémentaires, le modèle est très efficace et fiable tout en offrant un bon rapport coût-efficacité.