Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9109094 à vendre en France

TEL TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD est un équipement de graveur/asher automatisé à haute performance conçu pour fournir un processus de gravure et d'ashing de précision dans les applications semi-conductrices. Ce système offre une large gamme de choix dans les recettes de gravure et d'ashing pour une variété de plaquettes semi-conductrices, telles que Si, GaAs, GaP, AL, InP et CdZnSe. TEL UNITY IIE 855 DD utilise la technologie classique ICP (plasma inductif couplé) comparée à RIE (gravure ionique réactive) pour réduire la contamination plasmatique et améliorer la sélectivité. Cette unité dispose d'une vitesse de gravure maximale allant jusqu'à 1 micron par seconde, offrant une gravure et une cendre rapides et à haut débit. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD offre également des fonctionnalités avancées telles que la gravure en plusieurs étapes, l'exécution de recettes, le recyclage de recettes et les enregistrements traçables. Cette machine est équipée d'une chambre de dépôt sous vide à la fine pointe de la technologie, offrant une excellente uniformité de procédé, une pompe à vide intégrée et un outil avancé de manutention des gaz pour un procédé reproductible et des résultats reproductibles. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DD dispose également d'un logiciel avancé d'édition de recettes pour une gestion conviviale des recettes. TEL UNITY II E-855DD est équipé d'un moniteur couleur LCD de 15 pouces, de deux écrans tactiles, d'un clavier, d'une souris et d'un large choix de logiciels. L'équipement comprend un plasmateur, un actif de boite de valve de plasmateur, une source de plasma à distance, une alimentation en cotrap, un moniteur de plasma, des bases de suscepteurs de quartz et d'autres équipements auxiliaires. En outre, le modèle est configuré avec des modules de dépôt de film avancés propriétaires, tels que son équipement de dépôt de film automatique, qui utilise des lignes électriques pour une meilleure qualité de film et le système de contrôle automatique des films (AFCS). Cette unité est également conçue avec des protocoles de sécurité complets, y compris des emboîtements, des capteurs de pression de gaz, des emboîtements de vide durs, l'exclusion du piège à liquide et des détecteurs de perméabilité du plasmateur. Il offre également une machine de transfert automatique de plaquettes en option et un nettoyage amélioré de la chambre E pour améliorer les performances de gravure et de cendrage. En conclusion, UNITY IIE 855 DD est un outil de graveur/asher automatisé spécialement conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une gamme de caractéristiques pour réduire la contamination plasmatique, améliorer la sélectivité, gravure et cendrage à haut débit, modules avancés de dépôt de films, et des protocoles de sécurité complète.