Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9219373 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD est un outil avancé de graveur humide et asher conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices et autres substrats. Cet outil est capable d'effectuer la gravure, cendres, et une variété d'autres processus connexes. Le 855DD est équipé d'un système entièrement automatisé et intégré pour contrôler l'environnement du processus, optimiser les conditions de gravure et surveiller l'uniformité de la plaquette. Le 855DD est un outil flexible capable d'exécuter une variété de processus, tels que l'ion profondément réactif grave à l'eau forte (DRIE), chimique mouillé gravent à l'eau forte, hydrofluoric l'acide (HF) gravent à l'eau forte, RIE/etch/ash, la cendre mouillée et le broiement d'ion. Le 855DD intègre la technologie de bord, comme la microscopie électronique à balayage à émission de champ (FESEM), pour surveiller et contrôler l'environnement de la chambre de processus et l'uniformité des plaquettes. Supplémentairement, le 855DD le matériel de graveur est capable d'être chauffé jusqu'à 400°C pour faciliter le processus de gravure à l'eau forte. Le 855DD dispose également de quatre pré-ensembles de processus automatiques qui permettent une configuration facile et la facilité d'utilisation. Le 855DD est spécifiquement conçu pour mettre en œuvre des processus de gravure et d'ashing dans un système intégré. Cette intégration garantit les meilleurs résultats possibles de l'ensemble du processus de gravure et de cueillette. Le 855DD intègre une large gamme d'options de processus qui permettent un contrôle étroit sur plusieurs paramètres de processus pour atteindre les résultats souhaités. Il est équipé d'un pont automatique qui surveille et contrôle l'uniformité du processus d'oxydation et de gravure. Le 855DD est un outil polyvalent qui peut être utilisé dans une variété de procédés semi-conducteurs. Il est remarquablement efficace grâce à son environnement intégré de contrôle des processus, ses fonctionnalités de haute technologie et ses capacités d'automatisation. Cet outil etcher et asher fournit des résultats fiables qui aideront à maximiser l'efficacité et à réduire les cycles de fabrication. Le 855DD est capable d'effectuer à la fois la gravure humide et sèche, et les opérations de cendres en configurant différents processus de gravure et de cendrage de plaquettes pour répondre aux besoins spécialisés de diverses applications.
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