Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9246928 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD est un graveur/asher conçu pour diverses applications dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher à chargement vertical capable de produire des motifs de gravure de haute qualité et des profils de gravure asher. Sa conception avancée est conçue pour fournir un débit maximum et des conditions de processus uniformes pour assurer le plus haut niveau de fiabilité de l'appareil. TEL UNITY IIE 855 DD utilise un transformateur à impulsions (PRT) pour obtenir des performances de gravure par résonance maximales. Il est équipé de TLD32 Process Control Software (PCS) qui garantit des cycles de processus précis et reproductibles pour des profils de gravure optimaux et des résultats asher. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD intègre également une porte à vide (VG) qui permet de maintenir avec précision la pression de la chambre pendant les opérations de gravure et de cueillette. Unity IIe 855DD est construit avec de nombreuses fonctionnalités avancées pour assurer un traitement reproductible et fiable. Il s'agit notamment d'une chambre de haute importance dotée d'un système de distribution de gaz, d'une boucle de refroidissement thermoélectrique en boucle fermée avancée et d'une détection bidimensionnelle du point final. La chambre est également entourée d'un système de soufflet en acier inoxydable pour réduire les variations de pression. La pression de la chambre est également contrôlée dans un débitmètre massique rotatif. TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD est capable de manipuler des substrats jusqu'à 783mm x 858mm. Il est conçu pour fournir une fenêtre et un débit de processus cohérents pour une efficacité maximale, avec des motifs de gravure allant de 40µm à 600µm de profondeur. L'etcher/asher est également équipé d'un grand système de chargement de plaquettes, supportant ainsi de multiples recettes, optimisées pour chaque application. UNITY II E-855DD est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de fiabilité et de répétabilité dans la fabrication des appareils. Il fonctionne à une température maximale de 850 ° C et à une pression de traitement allant jusqu'à 10 mTorr. L'etcher/asher est livré avec des interfaces RS-232 et IEEE-488.2 pour le fonctionnement à distance et le suivi des données. L'etcher/asher peut également être mis à niveau avec les derniers systèmes de contrôle et de diagnostic. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD est une solution avancée et fiable pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir un débit élevé et la cohérence pour les meilleurs résultats. Ses caractéristiques et systèmes avancés lui permettent de répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs. Cet etcher/asher est capable de produire des motifs de matériaux de haute qualité et des profils de processus tout en conservant sa fiabilité et sa répétabilité supérieures.