Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293645124 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour la fabrication de dispositifs microélectroniques. Le système dispose de nombreuses capacités avancées qui le distinguent de ses concurrents. Il est conçu pour une efficacité et un débit optimaux en intégrant un ascenseur réglable avec une unité de contrôle de processus qui permet des réglages automatiques pour optimiser l'homogénéité de la croissance du film. La machine a également une grande taille de chambre, qui offre plus de flexibilité et d'espace de travail pour le traitement de grandes plaquettes. TEL Unity IIe 855DP a un processus unique de gravure à double fréquence, lui permettant de graver à haute et à basse fréquence, éliminant le besoin de graveurs multiples. Cette caractéristique assure une uniformité complète de gravure sur différentes tailles de plaquettes tout en permettant un débit plus élevé. En outre, le logiciel de l'outil est polyvalent et peut accueillir des recettes personnalisées selon l'application. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP est capable de graver des films de haute qualité à des vitesses de traitement rapides. Il peut graver des films jusqu'à 8 po de diamètre et 8 po d'épaisseur en aussi peu que 3,5 minutes par plaquette. L'actif est également compatible avec de nombreux gaz de procédé, tels que CF4, CHF3, SF6, Ar/N2, et He/N2, lui permettant de graver différents matériaux. Il a également une conception à haut courant (jusqu'à 500A) et un réseau d'adaptation précis pour aider à réduire le bruit à haute fréquence dans le film. Le modèle comprend également une variété de capteurs, tels qu'un capteur de courant de Foucault, une jauge ionique, une chambre d'ionisation à double pression, et un équipement de capacité numérique EV pour mesurer la rétroaction de dose du processus de gravure. Cela permet des conditions de gravure précises et améliore l'uniformité sur les plaquettes. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP dispose également de deux moniteurs intégrés pour contrôler avec précision les dépôts de films et les profondeurs de gravure. Unity IIe 855DP etcher/asher a été conçu pour une performance et une précision maximales pour la gravure et le criblage des dispositifs microélectroniques. Son procédé de gravure à double fréquence, sa conception à haut courant, sa grande taille de chambre et sa variété de capteurs le rendent bien adapté à une large gamme d'applications de gravure et de cendrage. Son temps de cycle de gravure rapide et sa compatibilité avec de nombreux gaz de procédé en font un choix idéal pour la fabrication de dispositifs à haut débit.