Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293646577 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP est un graveur/asher. Il s'agit d'un équipement avancé de graveur humide/asher conçu pour les applications de processus semi-conducteurs nécessitant une gravure élevée et des capacités propres. Ce système est utilisé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques et photoniques, comme les afficheurs et les puces, où une gravure précise du matériau est essentielle. L'unité est équipée d'une impulsion de balayage hydro-mécanique intégrée, qui utilise à la fois des forces de sédimentation et de traînée pour déplacer les plaquettes sur la surface du plateau. Cela permet une élimination efficace du matériau et la planéité du substrat sur tout le cycle de gravure. De plus, la machine de distribution de gaz refroidi intégrée, CGD, empêche tous les composants de la chambre de processus d'atteindre des températures dangereuses. Cela garantit que l'outil peut être actionné de manière sûre et contrôlée en tout temps. TEL Unity IIe 855DP a des capacités de gravure et de nettoyage avancées. Il est équipé d'un procédé de gravure pulsée qui utilise à la fois de l'argon et du chlore pour graver les motifs et les motifs sur le substrat, tandis qu'un moniteur vidéo interne assure la gravure précise de ces motifs. De plus, l'actif permet l'utilisation de milieux tels que le plasma et les nettoyants RCA pour éliminer les résidus qui restent sur le substrat pendant le processus de gravure. Le modèle est conçu pour fonctionner à des vitesses élevées, avec un débit maximum de 16 wafer synch/sec. Il est également équipé d'un certain nombre de commandes de température, d'impulsions et de temps de cycle, ainsi que d'une cassette à vide et de fonctions d'échange de cassettes. Cela permet des résultats fiables et reproductibles, même dans les applications les plus difficiles de gravure et de nettoyage. En outre, l'équipement dispose d'un logiciel de contrôle et de surveillance en ligne qui permet la gestion à distance et la collecte de données. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP est un graveur/asher polyvalent et précis. Il est équipé d'une gamme de caractéristiques qui lui permettent d'atteindre une gravure élevée et une capacité propre, tout en fournissant un contrôle précis sur l'ensemble du processus. Ceci en fait un outil essentiel dans la fabrication de dispositifs microélectroniques et photoniques.