Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628 à vendre en France
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ID: 197628
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 8"
(2) chambers
Mass flow controller
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 CH2F2 50
GAS #3 O2 200
GAS #4 CO 300
GAS #5 AR 1SLM
GAS #6 CHF3 100
GAS #7 CF4 100
GAS #8 C4F8 50
Pressure controller
P/V (PC1) VAT 65048-JH52
P/V (PC2) VAT 65048-JH52
Robot
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WAG-30C
Generator (PC2) DAIHEN WAG-30C
Matcher (PC1) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
HDD DISK (DATA) HDS722580
HDD DISK (S/W) HDS722580
AC Rack (PCB Board)
SVA011: Not attached
TEB107: Not attached
SMM162: Not attached
GST-M-SET: Not attached
TVB0008
TVB0010-1: Not attached
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
MAIO
ILK
PC1(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
PC2(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
Robot controller missing
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS est un graveur/asher haut de gamme pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des procédés de gravure et d'ashing de précision pour la fabrication de composants semi-conducteurs, tels que des couches d'interconnexion, des vias de silicium traversant (VST) et des dispositifs MEMS. TEL Unity IIe 855DS dispose d'un équipement de transfert de cassette à cassette à deux axes très précis et d'un système de contrôle avancé. Cela permet au graveur/asher de fournir des processus de gravure et d'ashing précis et stables, avec une uniformité et une maniabilité améliorées. La chambre de traitement est améliorée à des températures plus élevées par rapport aux graveurs/cendres standard, ce qui lui permet d'atteindre des taux de gravure plus élevés. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS comprend également des fonctionnalités de pointe uniques, telles que le contrôle polyvalent du débit de gaz, des recettes de processus avancées, une protection en boucle fermée, un autocontrôle, des avortements automatiques et une détection avancée en fin de course. Cela garantit un haut niveau d'efficacité du processus, un meilleur contrôle de la qualité et une expérience fiable de gravure et de cendrage. Unity IIe 855DS a été conçu pour traiter une variété de tailles de plaquettes, jusqu'à 8 pouces. Il est capable de courir jusqu'à 600 plaquettes par heure, et assure des temps de cycle courts. Cela rend le graveur/asher adapté à une large gamme de besoins de production de semi-conducteurs. Il utilise des technologies de procédé avancées, telles que OPC-RI/RIE, bande ashing, gravure-arrêt-gravure, et recuit, entre autres. En ce qui concerne la sécurité et les caractéristiques environnementales, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS est construit avec des vannes certifiées ultra-basse fuite. Cela garantit un scellement extrêmement serré, et aide à empêcher tout gaz de fuites dans l'environnement environnant. De plus, le graveur/asher utilise une variété de gaz de procédé à faible toxicité et dispose d'une unité de sécurité intégrée conçue pour surveiller les niveaux de gaz dangereux. À une hauteur totale de la machine de seulement 70 cm, TEL Unity IIe 855DS est compact, ce qui le rend adapté à une large gamme d'espaces industriels. C'est aussi un outil très efficace, qui permet de réduire les coûts d'exploitation. En bref, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS est un graveur/asher précis et efficace pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant la sophistication des processus, le contrôle de la qualité et la fiabilité. Il est connu pour ses performances élevées, ainsi que pour sa sécurité environnementale et ses faibles coûts d'exploitation.
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