Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628 à vendre en France

ID: 197628
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 8" (2) chambers Mass flow controller GAS #1 C4F8 50 GAS #2 CH2F2 50 GAS #3 O2 200 GAS #4 CO 300 GAS #5 AR 1SLM GAS #6 CHF3 100 GAS #7 CF4 100 GAS #8 C4F8 50 Pressure controller P/V (PC1) VAT 65048-JH52 P/V (PC2) VAT 65048-JH52 Robot Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ016 TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1 TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1 TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1 TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1 Generator (PC1) DAIHEN WAG-30C Generator (PC2) DAIHEN WAG-30C Matcher (PC1) DAIHEN CB-13A Matcher Controller (PC1) Matcher (PC2) DAIHEN CB-13A Matcher Controller (PC2) EPD (PC1) EPD (PC2) T/C TMP Controller HDD DISK (DATA) HDS722580 HDD DISK (S/W) HDS722580 AC Rack (PCB Board) SVA011: Not attached TEB107: Not attached SMM162: Not attached GST-M-SET: Not attached TVB0008 TVB0010-1: Not attached TC(PCB BOARD) COM DIO1 DIO2 MAIO ILK PC1(PCB BOARD) APC: not attached DIO MAIO COM TEMP PC2(PCB BOARD) APC: not attached DIO MAIO COM TEMP Robot controller missing 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS est un graveur/asher haut de gamme pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des procédés de gravure et d'ashing de précision pour la fabrication de composants semi-conducteurs, tels que des couches d'interconnexion, des vias de silicium traversant (VST) et des dispositifs MEMS. TEL Unity IIe 855DS dispose d'un équipement de transfert de cassette à cassette à deux axes très précis et d'un système de contrôle avancé. Cela permet au graveur/asher de fournir des processus de gravure et d'ashing précis et stables, avec une uniformité et une maniabilité améliorées. La chambre de traitement est améliorée à des températures plus élevées par rapport aux graveurs/cendres standard, ce qui lui permet d'atteindre des taux de gravure plus élevés. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS comprend également des fonctionnalités de pointe uniques, telles que le contrôle polyvalent du débit de gaz, des recettes de processus avancées, une protection en boucle fermée, un autocontrôle, des avortements automatiques et une détection avancée en fin de course. Cela garantit un haut niveau d'efficacité du processus, un meilleur contrôle de la qualité et une expérience fiable de gravure et de cendrage. Unity IIe 855DS a été conçu pour traiter une variété de tailles de plaquettes, jusqu'à 8 pouces. Il est capable de courir jusqu'à 600 plaquettes par heure, et assure des temps de cycle courts. Cela rend le graveur/asher adapté à une large gamme de besoins de production de semi-conducteurs. Il utilise des technologies de procédé avancées, telles que OPC-RI/RIE, bande ashing, gravure-arrêt-gravure, et recuit, entre autres. En ce qui concerne la sécurité et les caractéristiques environnementales, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS est construit avec des vannes certifiées ultra-basse fuite. Cela garantit un scellement extrêmement serré, et aide à empêcher tout gaz de fuites dans l'environnement environnant. De plus, le graveur/asher utilise une variété de gaz de procédé à faible toxicité et dispose d'une unité de sécurité intégrée conçue pour surveiller les niveaux de gaz dangereux. À une hauteur totale de la machine de seulement 70 cm, TEL Unity IIe 855DS est compact, ce qui le rend adapté à une large gamme d'espaces industriels. C'est aussi un outil très efficace, qui permet de réduire les coûts d'exploitation. En bref, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS est un graveur/asher précis et efficace pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant la sophistication des processus, le contrôle de la qualité et la fiabilité. Il est connu pour ses performances élevées, ainsi que pour sa sécurité environnementale et ses faibles coûts d'exploitation.
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