Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #293820513 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS est un graveur/asher avancé conçu pour le traitement des plaquettes de haute précision. L'équipement combine un contrôle d'uniformité dynamique TEL UV-6700 avancé (DUC) avec un ensemble optique de pointe pour fournir des résultats de processus supérieurs. Le système est construit autour d'un support de substrat avancé en silicium sur isolant (SOI). Le support de substrat peut accueillir à la fois des plaquettes de silicium standard ainsi que de nouveaux substrats tels que le substrat en verre à grande surface (LAGS) et des structures SOI alternatives. Le support est équipé de traversées sous vide, permettant l'alimentation précise des gaz de gravure à la surface de la plaquette pendant le processus de gravure. L'unité dispose également de TOKYO ELECTRON nouvelle technologie avancée PC-TDC (PC-Based Tuning and Diagnostics Control). Cette machine permet de surveiller et d'ajuster en temps réel les paramètres de gravure tels que le débit de gaz, la pression, la durée de gravure, la température et le vide. Il offre une vue complète de l'ensemble du processus de gravure et de ses paramètres, permettant un réglage précis et une optimisation rapide. TEL Unity IIe 855DS utilise un ensemble optique haute performance qui permet une analyse précise du profil et de la topographie de la plaquette. Le paquet optique avancé peut détecter des fonctionnalités minuscules sur la plaquette et fournit des données pour un post-traitement ultérieur. En outre, l'outil est équipé d'un équipement avancé d'alignement et de suivi des plaquettes. Ce modèle est capable d'aligner et de suivre avec précision les substrats et résistances non standards, et permet d'affiner les paramètres de gravure pour obtenir les résultats de processus souhaités. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS est un équipement entièrement automatisé de graveur/asher capable de performances de haute précision. Il fournit aux utilisateurs une plate-forme avancée pour traiter efficacement et précisément une variété de substrats de plaquettes. Avec sa combinaison de technologie d'UV-6700 DUC avancée, système de PC-TDC intuitif et large paquet d'optique, l'Unité IIe 855DS fournit l'état de la gravure à l'eau forte d'art et de la performance ashing.