Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #293764220 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II Etch/Asher est une gravure/asher polyvalente à haut débit pour le traitement d'une grande variété de substrats et d'applications. Cet équipement a été conçu pour fournir des résultats de gravure/cendres de haute précision et reproductibles avec une capacité de recette étendue, des temps de cycle plus rapides et une uniformité de substrat supérieure. TEL UNITYIIE-855 II dispose de la technologie de contrôle ECD leader de l'industrie, fournissant des données en temps réel de déplacement des étages de plaquettes pour garantir des résultats uniformes et reproductibles. En outre, une variété de pompes, de vannes et de vannes sèches/humides sont disponibles, ce qui permet un contrôle et une uniformité supérieurs. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II est une gravure hybride à double chambre, capable de fonctionner en mode de traitement par lots et monobloc. Ce système utilise des processus de gravure mono-basés et multi-motifs, et le logiciel de contrôle de processus graphique avancé permet une personnalisation rapide et le développement de recettes. De plus, cette unité est capable de supporter une variété de produits chimiques de procédé, y compris la gravure humide, la gravure à la vapeur et les cendres, le plasma, les cendres post-gravure et les cendres sèches. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II dispose également d'une machine de régulation de température leader dans l'industrie pour maintenir des températures de chambre idéales, assurant la précision et la répétabilité des processus. L'atout CDA (Cooling and Drainage Assembly) de l'outil permet également un chargement et un déchargement rapides et efficaces des substrats. En outre, ce modèle utilise plusieurs systèmes de distribution de gaz, permettant un contrôle précis du mélange de processus, assurant des résultats uniformes et de haute précision. L'ensemble de l'équipement TEL UNITY IIE 855I I est construit en matériaux durables, et intègre une gamme de caractéristiques de sécurité, y compris un système d'échappement d'urgence et des emboîtements sur toutes les portes de chambre. Cette unité est également approuvée UL, et s'est avérée à la fois fiable et conviviale, permettant une intégration facile dans diverses lignes de processus. Dans l'ensemble, TEL Unity IIe 855II est une machine Etch/Asher robuste et fiable, offrant une variété de caractéristiques, un outil de régulation de la température leader dans l'industrie et une uniformité supérieure - assurant des résultats très précis et reproductibles à chaque processus.
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