Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9071931 à vendre en France
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ID: 9071931
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Oxide etcher, 8"
(2) Chambers
Wafer type: flat-zone
Rack type: V1 rack
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
MFC:
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 Ar 1000
GAS #3 SF6 100
GAS #4 CHF3 100
GAS #5 O2 20
GAS #6 CF4 200
GAS #7 PN2 100
GAS #8 CO 200
APC: VAT 61146-PH02-ABM1
Gauges:
Baratron CELERITY CDLD0112E 0~1TORR
Baratron TYRAN GENERAL CDL0112E 0~1TORR
Baratron MKS 622A01TDE 1PA
Convectron G/PHILLIPS 275203
TMP MITSUBISHI E-0776
TMP Controller MITSUBISHI FT-1200W
Robot YASKAWA VS2E
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ013
Generator PERAL LT-2000-800K; PERAL RP-3000-27M
6.Matcher PERAL M-30AW2VD-27M; PERAL M-20A2LS-V2
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II est une machine de gravure/cueillette utilisée dans une grande variété d'industries. C'est un outil puissant et économe en énergie conçu pour graver/cendre une variété de substrats rapidement et précisément. Il est doté d'une conception robuste et de technologies de processus avancées pour les processus de gravure/cueillette. TEL UNITYIIE-855 II est capable de traiter des structures bidimensionnelles (2D) et tridimensionnelles (3D) dans du silicium (Si), du phosphure d'indium (InP), de l'arséniure de gallium (GaAs), des substrats électriques et d'autres matériaux précieux. Il est conçu pour créer une texture de surface uniforme, et fournir un taux de gravure/ashing élevé tout en maintenant le produit final de la plus haute qualité. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II dispose d'un large éventail de paramètres de processus, y compris la pression, le temps, la température et l'épaisseur du substrat. Il dispose d'une source de plasma à quatre zones, d'un contrôle logiciel flexible et d'un temps de démarrage rapide. Le contrôle facile à utiliser et précis offert par la machine permet la gravure/cueillette fiable et répétable des substrats. TEL UNITY IIE 855 II est conçu pour une efficacité maximale et s'intègre avec une grande variété d'outils et de systèmes. La machine est capable de manipuler plusieurs plaquettes, et peut être utilisée avec un certain nombre d'outils spécialisés pour soutenir diverses exigences de gravure/ashing processus. Il est également compatible avec d'autres équipements TEL/TOKYO, tels que les manutentionneurs de plaquettes, les hauts fourneaux et les chargeurs FOUP, pour créer un système complet et efficace. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II est une machine de gravure/cendrage leader dans l'industrie conçue pour fournir des résultats de haute qualité avec une large gamme de paramètres et d'équipements. Avec ses capacités robustes et variées, il est un choix idéal pour le traitement d'une variété de matériaux avec une grande précision, précision et répétabilité.
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