Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9142648 à vendre en France
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ID: 9142648
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 8"
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II est un graveur/asher à plasma très avancé conçu spécifiquement pour répondre aux exigences haut de gamme de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une stabilité de processus supérieure, un faible entretien, un traitement rapide et précis, et des rendements globaux accrus. Il est équipé d'un écran tactile couleur de 12 pouces haute résolution, d'un horaire de travail automatisé et de capacités de gestion de fichiers, ainsi que d'un équipement de gestion diagnostique avancé pour la surveillance des processus en temps réel. TEL UNITYIIE-855 II est équipé de quatre chambres à plasma interconnectées, permettant de graver ou de souder simultanément jusqu'à quatre types différents de matériaux de substrat (tels que des plaquettes de silicium), pour une efficacité accrue. Il peut accueillir des substrats jusqu'à 300 mm de diamètre et jusqu'à 25 mm d'épaisseur. Un système automatisé de transfert de substrat est également inclus pour simplifier la configuration des tâches et accélérer le chargement et le déchargement des substrats. La chambre à plasma est équipée d'une alimentation RF (radiofréquence) haute fréquence, ainsi que d'aimants internes pour un contrôle et une uniformité optimaux du plasma. La chambre est également alimentée par un générateur bi-fréquence, permettant l'application de courant continu et de RF, en fonction des besoins de gravure/ashing. Un générateur double fréquence supplémentaire peut être monté à l'extérieur de la chambre pour plus de personnalisation. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II (ES) est inclus comme standard pour améliorer les performances de gravure/cueillette. L'ES permet l'injection directe de gaz, ce qui augmente considérablement la vitesse de gravure/cueillette du procédé, ainsi que des capacités supérieures de nettoyage et de trituration. Plusieurs outils secondaires personnalisés peuvent également être connectés à l'ES pour une personnalisation ultérieure. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855I I est également équipé d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité et d'environnement, y compris la surveillance des gaz pour prévenir la surcharge de gaz, et une machine de réfrigération secondaire pour assurer une température de processus stable et cohérente. En outre, l'instrument a de faibles émissions sonores, ce qui le rend idéal pour les environnements de laboratoire et de fabrication. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855II est un graveur/asher très avancé et fiable conçu pour répondre aux exigences de l'industrie moderne des semi-conducteurs. Il offre une stabilité de processus supérieure, un horaire de travail automatisé et la gestion des fichiers, des générateurs à double fréquence, des capacités d'injection de gaz, et de nombreuses caractéristiques de sécurité pour une efficacité et des rendements accrus.
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