Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9236727 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II est un équipement de graveur/asher conçu pour des applications semi-conductrices. Il offre une gamme complète de capacités de gravure/cendres avancées dans une petite machine d'empreinte. TEL UNITYIIE-855 II a une taille de chambre de 676 x 762 x 457 mm (W x D x H) qui permettra de traiter un grand nombre de pièces dans un lot donné. Il supporte plusieurs tailles de plaquettes, de 4 « à 12 » avec une capacité NAD pouvant atteindre 62 plaquettes. Il utilise une méthode de gravure à obturation parallèle, qui lui permet de traiter des couches minces uniformes avec des rapports d'aspect précis. Le système est également doté d'une capacité de triple résistance frontale, ce qui permet des processus plus rapides par rapport à une gravure/cendres traditionnelle. L'Unité IIe intègre une architecture de processus séquentiel multi-chambres, de sorte que les processus se produisent séparément dans différentes chambres avant de recombiner dans une seule chambre. Jusqu'à neuf processus différents peuvent être combinés sur un même substrat en une seule fois, et les temps de cycle totaux sont adaptés en conséquence. Avec sa conception modulaire, les accessoires d'outillage tels qu'un rotateur de pas peuvent également être rapidement intégrés dans l'unité. Le Unity IIe dispose d'une machine d'épuration de gaz in situ pour réduire les cycles de fusion et d'entretien des gaz. L'équipement est entièrement compatible avec TEL Digital Controller pour l'exécution automatisée des paramètres et la surveillance des outils. Le Unity IIe est conçu avec une robotique intelligente pour assurer la précision tout au long du fonctionnement des actifs, avec son faisceau de robots cinq axes capable d'un fonctionnement multi-fréquence pour un transfert rapide des plaquettes à travers les chambres. Il a également un modèle d'alignement de la vision (SAV) pour assurer la précision critique de l'alignement et créer un marquage OCR et OMS automatisé. Le niveau de pression de base de l'équipement est impressionnant 5 x 10-5 torr et peut être boosté jusqu'à 10X grâce à la technologie de serrage du substrat sous vide. Il est également équipé d'une interface E/S de grande capacité, fournissant un flux de données efficace vers et depuis un système informatique hôte. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II est une unité de graveur/asher très avancée qui offre une large gamme de capacités dans une faible empreinte. Il est idéal pour les applications semi-conductrices nécessitant une grande précision pendant la gravure/cendres et peut accueillir jusqu'à 62 plaquettes en une seule fois. Il dispose d'une robotique avancée et garantit une précision d'alignement critique ainsi qu'une machine de purification de gaz in situ pour réduire les cycles de fusion et d'entretien des gaz. L'outil est hautement compatible avec TOKYO ELECTRON Digital Controller et est idéal pour toute une gamme d'applications, telles que le revêtement à couches minces, la gravure diélectrique et le tissage de substrat.