Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP #197627 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP est un équipement de pointe conçu pour le traitement de précision. C'est un système très fiable et adaptable capable de créer avec précision des ouvertures, des passages et des trous dans un large éventail de substrats avec précision. Le processus lui-même est guidé par un logiciel complet qui optimise les paramètres de gravure et d'ashing pour un meilleur débit et une meilleure qualité. TEL Unity IIe 855SP utilise une puissante plate-forme de faisceau d'électrons avec des caractéristiques telles que le marquage rapide et précis des couches hautement conductrices, la correction de la courbure/conicité des plaquettes et la possibilité de graver sur des substrats irréguliers ou inégaux. Il a une taille de faisceau de 2,3nm de diamètre, une résolution de piquage de 0,48µm, et une uniformité de ± 2 %, ce qui le rend approprié pour les photorésistances à haute résolution et les substrats à structures fines. La vitesse de frappe du faisceau d'électrons peut atteindre 375mm2/h (selon les paramètres du processus). Pour garantir l'exactitude et l'uniformité, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP comprend un ensemble d'optiques à balayage dédié et une puissante unité informatique avec une suite d'acquisition/traitement de données pour l'optimisation automatique des processus. L'optique de balayage permet un contrôle précis du motif et assure un profil de couche répétable grâce à l'utilisation de quatre implantateurs d'électrons. La machine dispose également d'un logiciel de contrôle avancé qui permet un contrôle précis de chaque étape du processus de la matière première au dispositif final. Il permet également à l'utilisateur de contrôler les espèces d'ions, la tension, le courant et l'énergie pour chaque étape. La gestion de la recette de processus de UNITY IIe 855SP facilite le stockage, le rappel et la modification des modèles d'automatisation rapide des processus. Il est capable de supporter des processus mixtes et monolithiques tels que la photolithographie, la gravure plasma et l'évaporation du faisceau d'électrons. Son interface simple de configuration et de suivi des recettes permet un développement structuré des processus avec facilité. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP est un outil de graveur/asher fiable et efficace conçu pour le traitement de précision. Il est très efficace dans la création d'ouvertures, de passages et de trous dans un large éventail de substrats et supporte l'automatisation flexible des processus pour une précision et un débit accrus.