Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9033646 à vendre en France
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ID: 9033646
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Oxide etcher, 8"
Flat-zone wafer type
(2) Chambers
Mass flow controller
GAS #1 C5F8 20
GAS #2 C4F8 20
GAS #3 CF4 100
GAS #4 CHF3 50
GAS #5 CH2F2 50
GAS #6 AR 1,000
GAS #7 O2 50
GAS #8 P-N2 500
Pressure controller
ISO V/V (PC1) VAT 65048-JH52
ISO V/V (PC2) VAT 65048-JH52
Gauge
Baratron MKS 627B-15405
Baratron MKS 627B-15405
Robot YASKAWA VS2C
Robot controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WGA-30C
Generator (PC2) DAIHEN WGA-30C
Matcher (PC1) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
AC RACK (PCB BOARD):
SVA031
Not included:
TEB107
TEB162
GST-M-SET
TVB0008
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
DIO3: Not included
MAIO
ILK
PC1 (PCB BOARD):
APC
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
PC2 (PCB BOARD):
APC: Not included
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS est un outil de gravure de plasma monobloc de nouvelle génération qui offre des performances supérieures et une meilleure capacité de traitement. Il dispose d'une source de plasma avancée qui optimise l'uniformité des processus et fournit un contrôle précis des gaz sans érosion des composants. TEL UNITYIIE-855 SS dispose d'une source de plasma à diffusion à basse température brevetée qui fournit d'excellentes performances avec un débit maximal et un excellent contrôle de précision des espèces réactives. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS dispose d'un étage de plaquette de haute précision capable d'atteindre des températures aussi basses que -60 ° C Cette étape fournit un processus de dépôt amélioré qui est idéal pour créer des surfaces avec les propriétés souhaitées. L'étage de la plaquette est animé par un moteur et un équipement de bobine pas à pas de pointe qui assure une distribution précise et uniforme de l'énergie. Le système de production contrôlé par PC comprend également une unité de diagnostic sophistiquée qui assure le suivi en temps réel du processus de gravure et peut alerter l'utilisateur en cas de problème. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS est également équipé d'une machine entièrement intégrée qui élimine le transfert mécanique de particules et de contaminants entre les plaquettes et la chambre à vide. Cet outil complet garantit les plus hauts niveaux de propreté et de répétabilité des processus. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS appuie l'utilisation d'un large éventail de configurations de chambres, y compris les chambres de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de gravure ionique réactive (RIE) pour les processus de gravure. TEL UNITY IIE 855 SS a également une conception économe en énergie et est capable de fonctionner à des vitesses plus rapides tout en consommant moins de puissance que les autres outils de gravure. Son logiciel de contrôle avancé permet un fonctionnement sans surveillance et des recettes automatisées qui facilitent le chargement et le déchargement des plaquettes, ainsi qu'un actif de suivi intégré en ligne qui fournit des informations sur les données de production, l'historique d'étalonnage et les performances. Dans l'ensemble, TEL UNITY IIE-855SS est un outil de gravure à haute performance qui offre des capacités de processus supérieures et des économies améliorées. Sa technologie de pointe, sa conception économe en énergie et son modèle de contrôle complet en font une option fiable et efficace pour les applications de gravure.
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