Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9042813 à vendre en France
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Vendu
ID: 9042813
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Oxide etcher, 8"
(2) Process chambers
Wafer type: flat
Signal tower: (3) lamps, (2) sides (front and back)
chamber type: Unity SCCM 2
Wafer handling type: vacuum load / unload station
Robot arm type: anodized aluminum
Wafer clamp type: ESC
ESC type: ceramic
EPD: both chambers
EPD type: EPD 30X
Transfer chamber configuration:
C/C1 Pressure switch: Leybold PS 113 16014
C/C2 Pressure switch: Leybold PS 113 16014
T/C Convactron: Phillips 275203
T/C CM: MKS 6220 A01 TDE, 1 Pa capacity
PCV Unit: STEC SV-P1000
DC power supply: SANKEN MLT-DCBOX5
Transfer robot: YASKAWA VS2C
RC/ELC1: YASKAWA SRC-II 015
RPA/ELC2: YAWKAWA SRC-II 016
Wafer alignment: YASKAWA VOSJ
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS est un graveur/asher conçu pour les processus de photolithographie. Il est semi-automatisé et offre des fonctionnalités avancées dans un design facile à utiliser. TEL UNITYIIE-855 SS est construit avec un réservoir en acier inoxydable avec un bain de silicate intégré, et un collecteur de poussière faible pour fournir un environnement de travail propre. Il comporte également des mesures de sécurité supplémentaires telles qu'un mécanisme d'arrêt d'urgence. L'unité offre une résistivité chimique allant jusqu'à 500 ohms, ce qui permet aux processus de niveau angström de rester stables tout au long du processus de gravure. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS a intégré des diagnostics pour faciliter le dépannage. Le système est équipé d'une interface utilisateur graphique intuitive (interface graphique) pour faciliter l'utilisation. Le système de contrôle contrôle automatiquement les paramètres du processus et peut être facilement ajusté pour optimiser les recettes. Le système de contrôle assure des résultats reproductibles et fiables pour chaque processus. Pour garantir la précision, TEL/TOKYO ELECTRON UNITYIIE-855 SS assure une surveillance complète des processus. L'etcher/asher surveille en permanence et fournit une rétroaction à l'utilisateur pendant chacun de ses processus. Il peut également fournir des données sur chaque procédé, telles que la température, la pression et la fréquence du procédé. L'unité offre également des fonctionnalités avancées telles que la capacité d'économiser des recettes complètes, ainsi que la capacité de programmer les opérations de l'unité. TEL UNITY IIE-855SS offre une empreinte compacte et peut traiter jusqu'à neuf postes de travail. Le graveur/asher est conçu pour les opérations par lots et les opérations monobloc. Il a une large gamme de fluides qui peuvent être utilisés dans une gamme de processus. Il est hautement programmable et peut être utilisé avec une variété d'équipements de gravure et de cueillette. UNITY IIE-855SS est une unité de graveur et d'asher fiable et puissante. Il offre des fonctionnalités avancées pour assurer la précision et la répétabilité tout en exécutant divers processus. L'etcher/asher est conçu pour faciliter l'utilisation et offrir aux clients un environnement de travail propre. Il dispose de capacités complètes de surveillance des processus et peut fournir des données détaillées sur chacun de ses processus. Avec son large éventail de capacités de processus, ce produit est bien adapté à ceux qui ont besoin d'un processus de photolithographie rapide et efficace.
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