Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9177764 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS est un graveur/asher conçu pour créer des motifs de haute précision sur différents types de matériaux. Il a des capacités de gravure/décapage à vide élevé avec traitement multi-plaquettes. Cet etcher/asher dispose d'une suite logicielle de contrôle qui automatise tout le processus de gravure/ashing, avec une précision optimisée. La conception de la chambre assure également une grande visibilité des surfaces des plaquettes pour l'opérateur, tout en évitant toute contamination par les particules. TEL UNITYIIE-855 SS peut traiter jusqu'à 8 pouces de plaquettes, avec un volume de la chambre de processus de 400 litres. Il dispose d'un générateur RF à double fréquence et d'un réglage automatisé des paramètres. La chambre utilise également une source de plasma à basse énergie pour une précision maximale dans le traitement. La température de la chambre à vide peut être régulée de 5 à 250 degrés Celsius pour une variété de matériaux, y compris le silicium et les substrats organiques. Il prend également en charge plusieurs gaz de processus, dont Ar, O2,CF4 et CHF3. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS est conçu pour atteindre une vitesse de débit extrêmement élevée, coupant le temps du cycle de gravure/ashing de moitié. Il dispose d'une caméra CCD pour la surveillance des processus, ainsi que d'un capteur gamma pour la mesure précise de l'efficacité d'élimination des particules. Il dispose également d'un système de détection du point d'extrémité et d'une fonction de transfert automatique pour un fonctionnement automatisé facile. Les utilisateurs peuvent surveiller l'état de l'etcher/asher à distance grâce à la connectivité Ethernet. Ce dispositif dispose également d'un système intégré de vérification de la propreté qui surveille l'environnement du processus pour s'assurer qu'il n'y a pas de contamination par les particules. Il dispose également d'un système de recette en ligne et hors ligne pour enregistrer et rappeler les paramètres de gravure/cueillette à tout moment. UNITY IIE-855SS est un puissant graveur/asher conçu pour la fixation de précision de divers matériaux. Il offre des résultats très précis avec des vitesses de traitement extrêmement rapides, ce qui en fait un équipement idéal pour les applications industrielles et de recherche.